Электронная библиотека
механико-математического факультета
Московского государственного университета
Главная
Ex Libris
Книги
Журналы
Статьи
Серии
Каталог
Wanted
Загрузка
ХудЛит
Справка
Поиск по индексам
Поиск
Форум
Мехматянам
Первый курс
Второй курс
Третий курс
Четвертый курс
Пятый курс
Авторизация
Поиск по указателям
Результат поиска
Поиск книг, содержащих:
Plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD)
Книга
Страницы для поиска
Lieberman M.A., Lichtenberg A.J. — Principles of Plasma Discharges and Materials Processing
5, 512ff
Morkoc H. — Advanced semiconductor and organic nano-techniques
125, 164
Plummer J.D., Deal M.D., Griffin P.B. — Silicon VLSI Technology: Fundamentals, Practice, and Modeling
512, 527—530, 584—587
©
Электронная библиотека попечительского совета мехмата МГУ
, 2004-2024
|
|
О проекте