Электронная библиотека
механико-математического факультета
Московского государственного университета
Главная
Ex Libris
Книги
Журналы
Статьи
Серии
Каталог
Wanted
Загрузка
ХудЛит
Справка
Поиск по индексам
Поиск
Форум
Мехматянам
Первый курс
Второй курс
Третий курс
Четвертый курс
Пятый курс
Авторизация
Поиск по указателям
Результат поиска
Поиск книг, содержащих:
Sidewall passivation
Книга
Страницы для поиска
Rossnagel S.M., Cuomo J.J., Westwood W.D. — Handbook of plasma processing technology. Fundamentals, etching, deposition, and surface interaction
203
Campbell S.A. — The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication
269—271
©
Электронная библиотека попечительского совета мехмата МГУ
, 2004-2024
|
|
О проекте