Аззам Р., Башара Н. — Эллипсометрия и поляризованный свет :: Электронная библиотека попечительского совета мехмата МГУ

Главная Ex Libris Книги Журналы Статьи Серии Каталог Wanted Загрузка ХудЛит Справка Поиск по индексам Поиск Форум

Авторизация

Поиск по указателям

Аззам Р., Башара Н. — Эллипсометрия и поляризованный свет

Обсудите книгу на научном форуме

Нашли опечатку?
Выделите ее мышкой и нажмите Ctrl+Enter

Название: Эллипсометрия и поляризованный свет

Авторы: Аззам Р., Башара Н.

Аннотация:

Моноrрафия американских авторов, посвященная применению поляризованноrо света для исследования чистых и покрытых пленками поверхностей твердых тел, слоистых структур, биологических и химических процессов и других объектов. Наряду с обстоятельным изложением теории, лежащей в основе поляризационных методов, приводятся результаты исследовании и подробное описание практических высокочувствительных методов.
Рассчитана на физиков, химиков, биологов, инженеров-технологов, npименяющих в своей работе поляризационные методы.

Язык:

Рубрика: Физика/

Статус предметного указателя: Готов указатель с номерами страниц

ed2k: ed2k stats

Год издания: 1981

Количество страниц: 583

Добавлена в каталог: 09.12.2005

Операции: Положить на полку | Скопировать ссылку для форума | Скопировать ID

Предметный указатель

Многократные отражения      93 284 325 422 490
Многонулевые намерения      285—267
Модулятор ADP      462
Модулятор KDP      466
Модулятор с пьезодвулучепреломлением      471
Модулятор Фарадея      460 461
Модуляционная эллипсометрия      300—310
Модуляционная эллипсометрия золота и серебра      484—486
Модуляционная эллипсометрия, схема PCSA      309—311
Модуляционная эллипсометрия, схема PSA      307—309
Модуляция поляризации      301—303 462 466 471—472
Молекулярные пленки      404 495
Молекулярные пленки, структура      152
Монослои      494 495 530
Монохроматический свет      15
Монохроматор      86 470 472
Наименьших квадратов метод      364—365 367 370 376
Направление обхода      22
Нарушение поверхности механическое      475 541 542
Нарушение поверхности при бомбардировке ионами низких энергий      537 540
Нарушение поверхности радиационное      537
Недеполяризующие оптические системы      167—174
Непрерывная обработка данных      464 465 467 470
Нулевые схемы      196 278 411
Нулевые схемы с фиксированным анализатором      279 441
Нулевые схемы с фиксированным компенсатором      196 251 280 437 411
Нулевые схемы с фиксированным поляризатором      282 441
Нуль эллипсометрия      195—287 414—476
Оже спектроскопия      501 506 546
Окисление анодное      503 513—523
Окисление атмосферное      503—505
Окисление в контролируемой атмосфере      505—511
Окисление меди в воде      509—511
Окисление металлов (Ti, U, Pb, Mo)      505—511
Окисление полупроводников (Si, Ge, GaSe)      503—505
Окисление тонких пленок      508
Окисление, зависимость от давления      506—507
Окисление, зависимость от ориентации кристалла      505—510
Окисление, зависимость от температуры      507
Окисление, кинетика      502—512
Окно измерительной ячейки      220 225 228—230 232 242—244 246 268 441 445 476
Окружности, коаксиальные семейства      57 63 129 131 139
Окружности, коаксиальные семейства наиболее резкого изменения пропускания      131
Окружности, коаксиальные семейства постоянного азимута      54 57 60 63 66 69
Окружности, коаксиальные семейства постоянного отношения амплитуд      48
Окружности, коаксиальные семейства постоянной близости      139
Окружности, коаксиальные семейства постоянной интенсивности пропускания      129
Окружности, коаксиальные семейства постоянной эллиптичности      55 57 60 63 66 69
Окуляр Гаусса      426 429
Отжиг      540
Отношение затухания      417—419
Отражательная способность      316 318 320 321 323 364
Отражение анизотропной подложкой      400—482
Отражение анизотропной слоистой структурой      406
Отражение границей раздела      95 181 312—325
Отражение двухосной пленкой на изотропной подложке      405—406
Отражение двухосной подложкой      403—404
Отражение изменение поляризации      99 181 315 330
Отражение изотропной слоистой структурой      379—388
Отражение многократное      292 325 422 490
Отражение ограниченным изотропным слоем      396—400
Отражение одноосной пленкой на изотропной подложке      404—405
Отражение одноосной пленкой на одноосной подложке      406
Отражение одноосной подложкой      402—403
Отражение поверхностью, покрытой островковой пленкой      407—408
Отражение поляризованного света      311—413
Отражение системой «внешняя среда-подложка»      325—831
Отражение собственные поляризации (p, s)      314
Отражение шероховатой поверхностью      400—413
Отражение эллипсометрические углы $(\psi, \Delta)$       204 316
Отражение эллипсометрия      182 203 268 290—295 303—310 475—550
Отражение, компенсатор      99 322 341
Отражение, матрица Джонса      98
Отражение, поляризатор      99 318 336 341 421
Отражение, устройства      96—99
Отражение, фазовый скачок      99 315 317—324 330
Отражение, частичный поляризатор      99
Очистка поверхности      540
Ошибка азимутального угла      217 220 226 227 243 244 246 251 441
Ошибка моделей      362 456—457
Ошибка несовершенных компонент      217—222 228—268 441—450
Ошибка систематическая      376
Ошибка случайная      376
Ошибка, источники      441—457
Ошибка, коррекция      441—457
Ошибка, функция      363—365
Паразитные пучки      450—451
Параметры Стокса      75
Пассивация      517—526
Передаточная функция амплитудная      116—120
Передаточная функция анизотропная      388—406
Передаточная функция анодного окисла      513—523
Передаточная функция двухосная      405
Передаточная функция загрязняющая      475
Передаточная функция ионная      512—513
Передаточная функция как компенсатор      341
Передаточная функция как поляризатор      337 341 421
Передаточная функция как система      325—379
Передаточная функция комплексной амплитуды      116 119
Передаточная функция конденсированных газов      486—487
Передаточная функция Лэнгмюра — Влодже      404
Передаточная функция микроэксудативная      533
Передаточная функция молекулярная      404 495
Передаточная функция напыленная      472 475—477
Передаточная функция неоднородная      388 502
Передаточная функция окисла      503—512 516—523
Передаточная функция островковая      407—410
Передаточная функция при полировке      541
Передаточная функция при электрополировке      523—525 527
Передаточная функция слоистая анизотропная      388—405
Передаточная функция слоистая изотропная      379—388
Передаточная функция субмонослойная      408
Передаточная функция фазовая      116—123 142—144
Передаточная функция эпитаксиальная      550
Передаточная функция, измерение толщины      343 362 492—550
Передаточная функция, кривые постоянной толщины      337—342
Передаточная функция, модуляции      106
Передаточная функция, оптические свойства      486—492 525
Передаточная функция, период толщины      326
Передаточная функция, поляризации      104—106 119—120 205
Передаточная функция, рост начальный      349 357—360
Передаточная функция, состояние агрегации      475
Передаточная функция, спектроскопия      487—492
Передаточная функция, фазовая толщина      326
Пластина несовершенств      222—225
Пленка адсорбированная на поверхности      см. «Адсорбция»
Поверхность, гидрофильность и гидрофобность      493 527
Поверхность, натяжение      495
Поверхность, очистка      540
Поверхность, покрытие      407 408 494 496
Поверхность, состояние      475 501
Поверхность, температура      540
Поверхность, термодинамика      501—502
Поверхность, шероховатость      460 542
Поглощения коэффициент      94 312 484
Поглощения коэффициент, показатель      312
Поглощения коэффициент, спектр      489
Подложка      474
Показатель преломления кажущийся      409—411
Показатель преломления комплексный      94 312
Показатель преломления необыкновенный      92 204 418 484
Показатель преломления обобщенный комплексный (анизотропная среда)      165
Показатель преломления обыкновенный      92 204 416 484
Показатель преломления оптически активной среды      103 214
Показатель преломления средний      97 103
Показатель преломления эффективный      407
Показатель преломления, измерение      316 349
Показатель преломления, профиль      543
Показатель преломления, спектры      476 481—485 488 541
Полное отражение      318 322—324 359

Полупроводник      317 503—505 549
Полутеневые устройства      416 423 459
Поляризатор дихроичный      419
Поляризатор инфракрасный      419 420 550
Поляризатор круговой идеальный      554
Поляризатор круговой частичный      123 553
Поляризатор линейный идеальный      96 125 136 417
Поляризатор линейный частичный      96 553
Поляризатор несовершенный      220 232 250 255 418
Поляризатор с двулучепреломлением      417
Поляризатор эллиптический идеальный      124 202 233 554
Поляризатор эллиптический частичный      123 553
Поляризатор, деполяризация      260
Поляризатор, матрица Джонса      123 124 553—554
Поляризатор, матрица Мюллера      555 556
Поляризатор, металлическая решетка      419 550
Поляризатор, оси поглощения и пропускания      95
Поляризатор, отражения под углом Брюстера      99 318
Поляризатор, призма Волластона      304
Поляризатор, призма Глана — Томпсона      94 419
Поляризатор, призма Глана — Фуко      418
Поляризатор, собственная поляризация      123 417 553 554
Поляризатор, собственные значения      125 417
Поляризатор, степень гашения      417—419
Поляризационная модуляция      301—303 460 466 471—473
Поляризация круговая      23
Поляризация линейная      23
Поляризация монохроматической волны      16—22
Поляризация полная      73
Поляризация при отражении от системы «пленка-подложка»      337 341 421
Поляризация произвольная разложение на два ортогональных состояния      137 140—142
Поляризация частичная      73
Поляризация эллиптическая      21—22
Поляризация, азимут      22
Поляризация, базисные состояния      38 211 215 561
Поляризация, базисные состояния, изменение      41 42
Поляризация, измерение      180 298
Поляризация, квазимонохроматической волны      71—84
Поляризация, модуляция      301—303 462 466 472
Поляризация, направление обхода      22
Поляризация, ортогональные состояния      47
Поляризация, передаточная функция      104—105 118 120 203
Поляризация, понятие      15
Поляризация, представление вектором Джонса      29—31
Поляризация, представление вектором Стокса      70 75—77
Поляризация, представление комплексным чистом      46—65
Поляризация, представление матрицей когерентности      80
Поляризация, представление на сфере Пуанкаре      65—69
Поляризация, степень      79 83 256
Поляризация, эллипс      16—22
Поляризация, эллиптичность      22
Поляризующие оптические системы      85
Поляриметрня      180 182 183
Полярные кривые      244 245 334 335
Поляроид      95 419
Приборы оптические классификация      120—126
Пропускание анизотропной подложки      400—402
Пропускание по интенсивности максимальное и минимальное      128 129
Пропускание по интенсивности оптических систем      126—137 171—174 178
Пропускание по интенсивности, выражения      132 133 171—174 178
Пропускание по интенсивности, границы раздела      316
Пропускание по интенсивности, траектория резкого изменения      131
Пропускание поляризованного света      411
Пропускание структуры слоистой анизотропной      388—408
Пропускание структуры слоистой изотропной      379—388
Пропускание, изменение поляризации      181 315 330
Просветляющие покрытия      451 459
Рентгеновская дифракция      507—510
Решетка дифракционная      411
Ромб Френеля      99 322 423
Свет неполяризованный (естественный), вектор Стокса      78
Свет неполяризованный (естественный), матрица когерентности      84
Свет неполяризованный (естественный), отсутствие корреляции между компонентами поля      73
Свет неполяризованный (естественный), представление в пространстве Стокса      79 80
Свет неполяризованный (естественный), представление на сфере Пуанкаре      74
Свет неполяризованный (естественный), разложение на ортогональные компоненты      172
Свет неполяризованный (естественный), распространение через деполяризующие оптические системы      175
Свет неполяризованный (естественный), распространение через недеполяризующие оптические системы      167 170 171
Свет поляризованный      см. «Поляризация»
Свет поляризованный, отражение и пропускание      310—413
Свет поляризованный, распространение в анизотропных средах      144—167
Свет поляризованный, распространение в жидких кристаллах      157 163
Свет поляризованный, распространение через оптические системы      85—179
Свет частично поляризованный, вектор Стокса      79
Свет частично поляризованный, корреляция между компонентами поля      73
Свет частично поляризованный, матрица когерентности      84—85
Свет частично поляризованный, представление в подпространстве Стокса      79 80
Свет частично поляризованный, представление на сфере Пуанкаре      79 80
Свет частично поляризованный, разложение на полностью поляризованную и неполяризованную компоненты      78 79 84 173
Свет частично поляризованный, распространение через деполяризующую оптическую систему      175—181
Свет частично поляризованный, распространение через недеполяризующую оптическую систему      107 171 173 174
Свет частично поляризованный, степень поляризации      73 83
Свет частично поляризованный, функция взаимной корреляции      81
Сила осциллятора      407
Слоистая структура      311—407
Слоистая структура анизотропная      388—406
Слоистая структура изотропная      379—388
Слой Бильби      475
Собственные векторы анизотропной среды      395
Собственные векторы матрицы Джонса      121
Собственные волны      164 165 393
Собственные значения анизотропной среды      164 165 395
Собственные значения идеального поляризатора      124 417
Собственные значения изотропного отражателя      203 314
Собственные значения компенсатора      121 122
Собственные значения оптической системы      120 121 551
Собственные значения частичного поляризатора      123 417
Собственные значения, измерение отношения известных собственных поляризаций      185
Собственные значения, измерение отношения круговых собственных поляризаций      211—215
Собственные значения, измерение отношения линейных собственных поляризаций      186—211
Собственные значения, измерение отношения эллиптических собственных поляризаций      215—219
Собственные поляризации быстрая и медленная (компенсатор)      122 552
Собственные поляризации как основа классификации оптических устройств      99 120
Собственные поляризации круговые      181 211
Собственные поляризации линейные      185 186
Собственные поляризации однородной анизотропной среды      150
Собственные поляризации оптического вращателя      103
Собственные поляризации оптической системы      108 120 121 551—552
Собственные поляризации сильного и слабого поглощения      123 152 154 155
Собственные поляризации эллиптические      185 215
Собственные поляризации, вырожденная анизотропия      109 125
Собственные поляризации, отражения      203 230 314
Собственные поляризации, пропускания и гашения (поляризатора)      125 554
Состояния постоянного (инвариантного) азимута      54 57 60 63 66 69 109 110 114
Состояния постоянного пропускания      126
Состояния постоянного фазового сдвига      143
Состояния постоянной (инвариантной) эллиптичности      55 57 60 63 69 109 110 114
Состояния постоянной близости      139
Спектр комплексного показателя преломления      476 481—485 488—491
Спектр комплексной диэлектрической функции      477—479
Спектр комплексной функции оптической плотности      491
Спектр коэффициента поглощения      476 481 483—485 488 491
Спектр показателя преломления      476 431—486 488 490
Спектральное распределение      16 86
Спектрометрическая эллипсометрия      311 313 470 474—492
Спектрометры      87
Спиральная ось      157
Спиральная ось, структура      157 185
Среда слоистая изотропная      379—388
Стекло      317—319 323 324 353—354 357—359 441
Степень поляризации      79 83 256
Степень поляризации на выходе поляризатора      256
Степень поляризации, вектор Стокса      79 256
Степень поляризации, изменение оптической системой      167 169
Степень поляризации, матрица когерентности      83
Стереографическая проекция      66 67 113 115 142 149 160
Субмонослойное покрытие      408 494—496
Сфера Пуанкаре      30—68
Сфера Пуанкаре, отображение окружности в окружность оптической системой      113
Сфера Пуанкаре, представление паразитных пучков в эллипсометре      450

1 2 3

О проекте