Авторизация
Поиск по указателям
Аззам Р., Башара Н. — Эллипсометрия и поляризованный свет
Обсудите книгу на научном форуме Нашли опечатку?
Название: Эллипсометрия и поляризованный светАвторы: Аззам Р., Башара Н. Аннотация: Моноrрафия американских авторов, посвященная применению поляризованноrо света для исследования чистых и покрытых пленками поверхностей твердых тел, слоистых структур, биологических и химических процессов и других объектов. Наряду с обстоятельным изложением теории, лежащей в основе поляризационных методов, приводятся результаты исследовании и подробное описание практических высокочувствительных методов.
Язык: Рубрика: Физика /Статус предметного указателя: Готов указатель с номерами страниц ed2k: ed2k stats Год издания: 1981Количество страниц: 583Добавлена в каталог: 09.12.2005Операции: Положить на полку |
Скопировать ссылку для форума | Скопировать ID
Предметный указатель
Абсолютная интенсивность 32 Абсолютная фаза 22 Адсорбция ионная 512—513 Адсорбция полимеров из раствора 503 Адсорбция физическая изотерма 494 501 Адсорбция химическая 494 500 Азимут инвариантный 109 110 114 Азимут, изменение в анизотропной среде 148 154 156 Азимут, измерения 196 295—297 Азимут, колебания 22 Азимутальные угловые ошибки в эллипсометрии 219 225 226 246 251 441 Азимутальные углы оптических компонент 186 Активные оптические системы 135 Амплитуда компонент поля 15 Амплитуда передаточной функции 116—120 Амплитуда эллиптического колебания 22 Анализ Фурье 15 305 Анализ Фурье эллипсометрических измерений 180—310 Анализатор линейный 191 Анализатор неидеальный 238 261 Анализатор эллиптический 202 Анализатор, вращение 205 Анализатор, погрешность 250 268 442 Анализатор, поляризация 181 Аналогия с электрическими цепями 112 Анизотропия вырожденная 109 Анизотропные кристаллы двухосные 393 122 484 Анизотропные кристаллы одноосные 421 482 Анизотропные кристаллы оптически активные 422 Анизотропные среды многослойные 388—408 Анизотропные среды неоднородные 157 Анизотропные среды однородные 148 Анизотропные среды оптически активные 97 103 393 422 457 Анизотропные среды, дифференциальная 391 395 Анизотропные среды, дифференциальная матрица распространения Джонса 146 Анизотропные среды, линейно-двулучепреломляющие или линейно дихроичные 92 96 196 157 Анизотропные среды, отражение и пропускание поляризованного света 388—408 Анизотропные среды, распространение поляризованного света 144—167 Анизотропные среды, собственные волны 153—155 Анизотропные среды, собственные значения 164—165 Анизотропные среды, собственные поляризации 150 164 Анизотропные среды, эллиптически двулучепреломляющие 153—155 Анизотропные среды, эллиптически дихроичные 153—155 Анодизация и послойное травление 477 Анодное окисление ниобия 512—516 Анодное окисление пленки нитрида кремния 517—523 Антигены 527 Антитела 527—528 Базисные векторы декартовы 38 Базисные векторы круговые 38 Базисные векторы произвольные (обобщенные) 42 Базисные состояния, изменение 41 42 Билинейное преобразование в обобщенной эллипсометрии 184 184 Билинейное преобразование и распространение света в анизотропных средах 150 151 153 Билинейное преобразование, изменение базисных состояний 62 212 215 Билинейное преобразование, инвариантные точки 108 Билинейное преобразование, коэффициент отражения 333 Билинейное преобразование, отношение коэффициентов пропускания 344 Билинейное преобразование, поворот координат 65 Билинейное преобразование, производная 112 Билинейное преобразование, свойство отображения окружности в окружность 108 109 111 114 151 207 Биология, применение эллипсометрии 527—537 Вектор базисный 38 Вектор Джонса данного эллиптического состояния 43—45 Вектор Джонса декартов 38 Вектор Джонса квазимонохроматической волны 73 168 Вектор Джонса круговой 39 101 103 211 Вектор Джонса нормализованный 32 Вектор Джонса обобщенный 42 100 Вектор Джонса ортогональный и ортонормальный 35 50 115 Вектор Джонса плоской ТВ волны 29 Вектор Джонса собственный 121 Вектор Джонса, базис 38 Вектор Джонса, дифференциальное уравнение 146 Вектор Джонса, запись через комплексную амплитуду и комплексную поляризационную переменную 117 Вектор Джонса, преобразование оптической системы 88 117 168 Вектор Джонса, преобразование при изменении базиса 41 42 Вектор Джонса, преобразование при повороте координат 36 99 Вектор Джонса, произвольного поляризационного состояния 32 Вектор когерентности 83 Вектор комплексный 25 Вектор обобщенного поля 391 Вектор Стокса в эллипсометрическом анализе 250—272 Вектор Стокса неполяризованного света 78 Вектор Стокса полностью поляризованного света 78 Вектор Стокса частично поляризованного света 78 Вектор Стокса, возмущение 251 Вектор Стокса, измерение 77 180 Вектор Стокса, производная 251 253 Вектор Стокса, связь с матрицей когерентности 82 Вектор Стокса, связь со степенью поляризации 79 256 Вектор Стокса, связь со сферой Пуанкаре 70 79 Вектор электромагнитного поля 389 Верньер 414 416 Вероятность прилипания 495—497 Вращатель оптический 97 99 287 Вращение Фарадея 394 Главная система координат 187 255 259 Главные комплексные показатели преломления 482 483 Граница раздела изотропная 98 312 Граница раздела «внешняя среда-подложка» 351 475 Граница раздела «воздух-жидкость» 495 498 Граница раздела «газ-твердое тело» 317—324 492—498 498—502 Граница раздела «жидкость-твердое тело» 492 502 503 509 Граница раздела «электрод-электролит» 512—513 Граница раздела, главный угол 204 324 Граничные условия 313 314 397 401 Две зоны, остаточный член 444 Две зоны, усреднение 245—246 263 265 268—272 442 Две зоны, фактор корреляции 245—246 264 446 Двулучепреломление естественное 185 Двулучепреломление жидких кристаллов 157 Двулучепреломление круговое 104 166 182 185 214 Двулучепреломление линейное 92 93 157 166 182 185 204 Двулучепреломление линзы 425 445 Двулучепреломление наведенное 182 Двулучепреломление при неупругой деформации 185 Двулучепреломление при упругой деформации 272 Двулучепреломление электрооптическое 462 Двулучепреломление эллиптическое 151—156 166 182 Двулучепреломление, окна ячейки 242 272 425 Двулучепреломление, ячейка Фарадея 460 Деполяризатор 424 Деполяризация 167 175 Деполяризация как источник ошибки в эллипсометрии 250 267 451 Деполяризация компонентами эллипсометра 267—268 Деполяризация, элементы матрицы Мюллера 268 Деполяризующие оптические системы 175—179 Диафрагма 423 Дифракция рентгеновская 507 510 Дифракция электронов 501 508 546 Дифракция, интеграл 412 Диффузия 448 548 550 Дихроизм естественный 182 419 Дихроизм кажущийся 422 Дихроизм круговой 166 182 185 214 Дихроизм линейный 95 98 166 182. 204 Дихроизм наведенный 419 Дихроизм эллиптический 156 166 182 Диэлектрическая функция 475 477—479 486 487 Жидкие кристаллы, оптическая модель 157 Жидкие кристаллы, преимущественные поляризации 161 Жидкие кристаллы, распространение света 158—161 Загрязняющие пленки 475 Закон Малюса 134 135 Закон Снелиуса 313 328 Закон Фарадея 524 Зона сопряженная 197 Зона, определение 197 209 Зона, соотношения 197 202 209 210 214 241 Зона, усреднение 244 247 263 442 Зонная структура 480 484 Измерения оптических свойств 474—492 Измерения поляризации 180 298 Иммунологические реакции 257 531 Иммуноэлектроадсорбционные испытания 531 Интенсивность 32 37 41 43 Интерференция в тонких пленках 325 Интерферометры 81 184 304 Ионная бомбардировка 537—544 Ионная имплантация 540 Ионная проводимость 513—519 Источники ошибок 441—461 Источники света 426—428 Клаузиуса — Клапейрона соотношение 501 Когерентность 73 Коллимирование света 454 Коллимирующие линзы 425 Компенсатор (фазосдвигающее устройство) ахроматический 423 Компенсатор (фазосдвигающее устройство) Бабине — Солейля 422—423 Компенсатор (фазосдвигающее устройство) двулучепреломляющий (линейный) 92 421 Компенсатор (фазосдвигающее устройство) из кальцита 422 Компенсатор (фазосдвигающее устройство) кварцевый 422 Компенсатор (фазосдвигающее устройство) линейный дихроичный 96 Компенсатор (фазосдвигающее устройство) несовершенный 220 249 267 Компенсатор (фазосдвигающее устройство) перестраиваемый 422—423 466 Компенсатор (фазосдвигающее устройство) полуволновой 421 Компенсатор (фазосдвигающее устройство) слюдяной 422 Компенсатор (фазосдвигающее устройство) четвертьволновый 421 Компенсатор (фазосдвигающее устройство) электрооптический 466 Компенсатор (фазосдвигающее устройство) эллиптический 552 Компенсатор (фазосдвигающее устройство) «пленка-подложка» 341 Компенсатор (фазосдвигающее устройство), матрица Джонса 138 682 Компенсатор (фазосдвигающее устройство), матрица Мюллера 556 Компенсатор (фазосдвигающее устройство), многократные отражения 93 422 Компенсатор (фазосдвигающее устройство), ромб Френеля 99 322 423 Компенсатор (фазосдвигающее устройство), собственные значения 122 Компенсатор (фазосдвигающее устройство), собственные поляризации (быстрая и медленная оси) 122 Компенсатор (фазосдвигающее устройство), фазовый сдвиг 94 122 422 Компенсация, нулевая схема с фиксированным анализатором 279—280 Компенсация, нулевая схема с фиксированным компенсатором 280—282 Компенсация, нулевая схема с фиксированным поляризатором 282—285 Комплексная амплитуда коэффициента отражения 314 527 Комплексная амплитуда коэффициента пропускания 314 327 Комплексная амплитуда, передаточная функция 116 119 121 Конденсированные газы 486—487 Контактный потенциал 495 506 Конформное отображение 111 119 Координатные оси, выбор 87 66 Координатные оси, поворот 35 65 93 177 Коррекция для двух зон 245 246 264 446 Коррекция для четырех зон 247 312 Коррекция ошибок 441—467 Корреляция и когерентность 73 Корреляция, параметр 367—370 Коэффициент поглощения 93 165 812 Коэффициент поглощения систем «внешняя среда-две пленки-подложка» 388 Коэффициент поглощения систем «пленка-подложка» 327 Коэффициент поглощения систем «подложка» 314 Коэффициент поглощения слоистой структуры 387 Коэффициенты пропускания системы внешним «среда-пленка-подложка» 237 330 Коэффициенты пропускания системы «внешняя среда-подложка (Френеля)» 314—315 Коэффициенты пропускания, отношение 343—347 Коэффициенты связи 220 229—237 239 Коэффициенты связи 255 257 258 Коэффициенты связи азимутальной ошибки 221 236 227 Коэффициенты связи для изменений толщины пленки 348 Коэффициенты связи модифицированные 222 Коэффициенты связи несовершенств компонент 221 255 Коэффициенты связи, минимизация 248 Коэффициенты связи, таблицы 227 236—237 239 258 Коэффициенты Френеля 314—343 Критический угол 318 322 357 Лазеры He — Ne 426 Лазеры как источник света 426—428 Лазеры на парах воды 441 Лазеры перестраиваемые 428 Лазеры, использование при юстировке эллипсометра 430 Линзы коллимирующие 425 Линзы фокусирующие 425 455 Логарифмическая спираль 338 347 Матрица Джонса активных оптических систем 186 Матрица Джонса декартова 100 662 563 Матрица Джонса дифференциальная распространения 146 165—167 Матрица Джонса компенсатора 121—125 552 Матрица Джонса компонент эллипсометра 187 Матрица Джонса круговая 100—104 212 552—553 Матрица Джонса несовершенной компоненты 220 223 Матрица Джонса нормализованная 184 454 Матрица Джонса обобщенная 100 Матрица Джонса оптической системы 38 Матрица Джонса основных оптических устройств 91—98 Матрица Джонса поляризатора идеального 125—126 Матрица Джонса поляризатора совершенного 136 Матрица Джонса поляризатора частичного 125—126 Матрица Джонса последовательности оптических компонент 224—223 Матрица Джонса преобразование при изменении базиса 100 101 Матрица Джонса преобразование при повороте координат 90 Матрица Джонса сингулярная 106 112 125 136 Матрица Джонса собственных значений 121 551 Матрица Джонса унитарная 122 Матрица Джонса эллипсометра 194 200 201 Матрица Джонса эрмитова 125 Матрица Джонса, билинейное преобразование 106 Матрица Джонса, действие на вектор Джонса 88 Матрица Джонса, действие на матрицу когерентности 168—172 Матрица Джонса, запись по трем поляризациям 184 Матрица Джонса, запись через пропускание по интенсивности 127 Матрица Джонса, запись через собственные значения 121 561 Матрица Джонса, запись через собственные поляризации в собственные значения 121 551 Матрица Джонса, значения элементов 88—90 Матрица Джонса, измерение 182 183 Матрица Джонса, пластины несовершенств 124 Матрица Джонса, связь с матрицей Мюллера 175 176 201 Матрица Джонса, собственные векторы 121 Матрица Джонса, таблицы 552—554 Матрица Джонса, уравнения для собственных значений 120 121 Матрица Джонса, устройства отражательного типа 97—95 Матрица Джонса, устройства пропускающего типа 91—97 Матрица когерентности 81—84 167—174 Матрица коэффициентов связи 221 232 233 255 259 Матрица Мюллера для пропускания по интенсивности 178 Матрица Мюллера несовершенной компоненты 252 Матрица Мюллера оптических элементов (таблица) 556 Матрица Мюллера оптической системы 176 Матрица Мюллера последовательности элементов 177 Матрица Мюллера, действие на вектор Джонса 176 Матрица Мюллера, измерение 180 Матрица Мюллера, преобразование при повороте координат 177 Матрица Мюллера, связь с матрицей Джонса 175 176 261 267 Матрица обратная 37 40 48 Матрица отражения анизотропного слоя 399 Матрица отражения изотропного отражателя 97 Матрица отражения системы изотропная «внешняя среда-однослойная подложка» 402—403 Матрица поворота 37 81 Матрица пропускания анизотропного слоя 399—400 Матрица сингулярная 124 136 Матрица унитарная 40 43 122 Матрица, границы раздела 381—383 Матрица, дифференцирование 146 251—253 Матрица, преобразования 40 42 62 Матрица, прямое произведение 80 176 Металл, окисление 505—511 Металл, окисление, оптические свойства 476—479 Метод качания 441 457 Микроскоп эллипсометрический лазерный 550 Микроскопия оптическая 532 Микроскопия электронная 512 536 Микротрещины 542 Микроэлектроника 550
Реклама
матрица распространения 
матрицы 
|
|
О проекте