Аззам Р., Башара Н. — Эллипсометрия и поляризованный свет :: Электронная библиотека попечительского совета мехмата МГУ

Главная Ex Libris Книги Журналы Статьи Серии Каталог Wanted Загрузка ХудЛит Справка Поиск по индексам Поиск Форум

Авторизация

Поиск по указателям

Аззам Р., Башара Н. — Эллипсометрия и поляризованный свет

Обсудите книгу на научном форуме

Нашли опечатку?
Выделите ее мышкой и нажмите Ctrl+Enter

Название: Эллипсометрия и поляризованный свет

Авторы: Аззам Р., Башара Н.

Аннотация:

Моноrрафия американских авторов, посвященная применению поляризованноrо света для исследования чистых и покрытых пленками поверхностей твердых тел, слоистых структур, биологических и химических процессов и других объектов. Наряду с обстоятельным изложением теории, лежащей в основе поляризационных методов, приводятся результаты исследовании и подробное описание практических высокочувствительных методов.
Рассчитана на физиков, химиков, биологов, инженеров-технологов, npименяющих в своей работе поляризационные методы.

Язык:

Рубрика: Физика/

Статус предметного указателя: Готов указатель с номерами страниц

ed2k: ed2k stats

Год издания: 1981

Количество страниц: 583

Добавлена в каталог: 09.12.2005

Операции: Положить на полку | Скопировать ссылку для форума | Скопировать ID

Предметный указатель

Абсолютная интенсивность      32
Абсолютная фаза      22
Адсорбция ионная      512—513
Адсорбция полимеров из раствора      503
Адсорбция физическая изотерма      494 501
Адсорбция химическая      494 500
Азимут инвариантный      109 110 114
Азимут, изменение в анизотропной среде      148 154 156
Азимут, измерения      196 295—297
Азимут, колебания      22
Азимутальные угловые ошибки в эллипсометрии      219 225 226 246 251 441
Азимутальные углы оптических компонент      186
Активные оптические системы      135
Амплитуда компонент поля      15
Амплитуда передаточной функции      116—120
Амплитуда эллиптического колебания      22
Анализ Фурье      15 305
Анализ Фурье эллипсометрических измерений      180—310
Анализатор линейный      191
Анализатор неидеальный      238 261
Анализатор эллиптический      202
Анализатор, вращение      205
Анализатор, погрешность      250 268 442
Анализатор, поляризация      181
Аналогия с электрическими цепями      112
Анизотропия вырожденная      109
Анизотропные кристаллы двухосные      393 122 484
Анизотропные кристаллы одноосные      421 482
Анизотропные кристаллы оптически активные      422
Анизотропные среды многослойные      388—408
Анизотропные среды неоднородные      157
Анизотропные среды однородные      148
Анизотропные среды оптически активные      97 103 393 422 457
Анизотропные среды, дифференциальная $4\times 4$ матрица распространения      391 395
Анизотропные среды, дифференциальная матрица распространения Джонса      146
Анизотропные среды, линейно-двулучепреломляющие или линейно дихроичные      92 96 196 157
Анизотропные среды, отражение и пропускание поляризованного света      388—408
Анизотропные среды, распространение поляризованного света      144—167
Анизотропные среды, собственные волны      153—155
Анизотропные среды, собственные значения      164—165
Анизотропные среды, собственные поляризации      150 164
Анизотропные среды, эллиптически двулучепреломляющие      153—155
Анизотропные среды, эллиптически дихроичные      153—155
Анодизация и послойное травление      477
Анодное окисление ниобия      512—516
Анодное окисление пленки нитрида кремния      517—523
Антигены      527
Антитела      527—528
Базисные векторы декартовы      38
Базисные векторы круговые      38
Базисные векторы произвольные (обобщенные)      42
Базисные состояния, изменение      41 42
Билинейное преобразование в обобщенной эллипсометрии      184 184
Билинейное преобразование и распространение света в анизотропных средах      150 151 153
Билинейное преобразование, изменение базисных состояний      62 212 215
Билинейное преобразование, инвариантные точки      108
Билинейное преобразование, коэффициент отражения      333
Билинейное преобразование, отношение коэффициентов пропускания      344
Билинейное преобразование, поворот координат      65
Билинейное преобразование, производная      112
Билинейное преобразование, свойство отображения окружности в окружность      108 109 111 114 151 207
Биология, применение эллипсометрии      527—537
Вектор базисный      38
Вектор Джонса данного эллиптического состояния      43—45
Вектор Джонса декартов      38
Вектор Джонса квазимонохроматической волны      73 168
Вектор Джонса круговой      39 101 103 211
Вектор Джонса нормализованный      32
Вектор Джонса обобщенный      42 100
Вектор Джонса ортогональный и ортонормальный      35 50 115
Вектор Джонса плоской ТВ волны      29
Вектор Джонса собственный      121
Вектор Джонса, базис      38
Вектор Джонса, дифференциальное уравнение      146
Вектор Джонса, запись через комплексную амплитуду и комплексную поляризационную переменную      117
Вектор Джонса, преобразование оптической системы      88 117 168
Вектор Джонса, преобразование при изменении базиса      41 42
Вектор Джонса, преобразование при повороте координат      36 99
Вектор Джонса, произвольного поляризационного состояния      32
Вектор когерентности      83
Вектор комплексный      25
Вектор обобщенного поля      391
Вектор Стокса в эллипсометрическом анализе      250—272
Вектор Стокса неполяризованного света      78
Вектор Стокса полностью поляризованного света      78
Вектор Стокса частично поляризованного света      78
Вектор Стокса, возмущение      251
Вектор Стокса, измерение      77 180
Вектор Стокса, производная      251 253
Вектор Стокса, связь с матрицей когерентности      82
Вектор Стокса, связь со степенью поляризации      79 256
Вектор Стокса, связь со сферой Пуанкаре      70 79
Вектор электромагнитного поля      389
Верньер      414 416
Вероятность прилипания      495—497
Вращатель оптический      97 99 287
Вращение Фарадея      394
Главная система координат      187 255 259
Главные комплексные показатели преломления      482 483
Граница раздела изотропная      98 312
Граница раздела «внешняя среда-подложка»      351 475
Граница раздела «воздух-жидкость»      495 498
Граница раздела «газ-твердое тело»      317—324 492—498 498—502
Граница раздела «жидкость-твердое тело»      492 502 503 509
Граница раздела «электрод-электролит»      512—513
Граница раздела, главный угол      204 324
Граничные условия      313 314 397 401
Две зоны, остаточный член      444
Две зоны, усреднение      245—246 263 265 268—272 442
Две зоны, фактор корреляции      245—246 264 446
Двулучепреломление естественное      185
Двулучепреломление жидких кристаллов      157
Двулучепреломление круговое      104 166 182 185 214
Двулучепреломление линейное      92 93 157 166 182 185 204
Двулучепреломление линзы      425 445
Двулучепреломление наведенное      182
Двулучепреломление при неупругой деформации      185
Двулучепреломление при упругой деформации      272
Двулучепреломление электрооптическое      462
Двулучепреломление эллиптическое      151—156 166 182
Двулучепреломление, окна ячейки      242 272 425
Двулучепреломление, ячейка Фарадея      460
Деполяризатор      424
Деполяризация      167 175
Деполяризация как источник ошибки в эллипсометрии      250 267 451
Деполяризация компонентами эллипсометра      267—268
Деполяризация, элементы матрицы Мюллера      268
Деполяризующие оптические системы      175—179
Диафрагма      423
Дифракция рентгеновская      507 510
Дифракция электронов      501 508 546
Дифракция, интеграл      412
Диффузия      448 548 550
Дихроизм естественный      182 419
Дихроизм кажущийся      422
Дихроизм круговой      166 182 185 214
Дихроизм линейный      95 98 166 182. 204
Дихроизм наведенный      419
Дихроизм эллиптический      156 166 182
Диэлектрическая функция      475 477—479 486 487
Жидкие кристаллы, оптическая модель      157
Жидкие кристаллы, преимущественные поляризации      161
Жидкие кристаллы, распространение света      158—161
Загрязняющие пленки      475
Закон Малюса      134 135
Закон Снелиуса      313 328
Закон Фарадея      524
Зона сопряженная      197
Зона, определение      197 209
Зона, соотношения      197 202 209 210 214 241

Зона, усреднение      244 247 263 442
Зонная структура      480 484
Измерения оптических свойств      474—492
Измерения поляризации      180 298
Иммунологические реакции      257 531
Иммуноэлектроадсорбционные испытания      531
Интенсивность      32 37 41 43
Интерференция в тонких пленках      325
Интерферометры      81 184 304
Ионная бомбардировка      537—544
Ионная имплантация      540
Ионная проводимость      513—519
Источники ошибок      441—461
Источники света      426—428
Клаузиуса — Клапейрона соотношение      501
Когерентность      73
Коллимирование света      454
Коллимирующие линзы      425
Компенсатор (фазосдвигающее устройство) ахроматический      423
Компенсатор (фазосдвигающее устройство) Бабине — Солейля      422—423
Компенсатор (фазосдвигающее устройство) двулучепреломляющий (линейный)      92 421
Компенсатор (фазосдвигающее устройство) из кальцита      422
Компенсатор (фазосдвигающее устройство) кварцевый      422
Компенсатор (фазосдвигающее устройство) линейный дихроичный      96
Компенсатор (фазосдвигающее устройство) несовершенный      220 249 267
Компенсатор (фазосдвигающее устройство) перестраиваемый      422—423 466
Компенсатор (фазосдвигающее устройство) полуволновой      421
Компенсатор (фазосдвигающее устройство) слюдяной      422
Компенсатор (фазосдвигающее устройство) четвертьволновый      421
Компенсатор (фазосдвигающее устройство) электрооптический      466
Компенсатор (фазосдвигающее устройство) эллиптический      552
Компенсатор (фазосдвигающее устройство) «пленка-подложка»      341
Компенсатор (фазосдвигающее устройство), матрица Джонса      138 682
Компенсатор (фазосдвигающее устройство), матрица Мюллера      556
Компенсатор (фазосдвигающее устройство), многократные отражения      93 422
Компенсатор (фазосдвигающее устройство), ромб Френеля      99 322 423
Компенсатор (фазосдвигающее устройство), собственные значения      122
Компенсатор (фазосдвигающее устройство), собственные поляризации (быстрая и медленная оси)      122
Компенсатор (фазосдвигающее устройство), фазовый сдвиг      94 122 422
Компенсация, нулевая схема с фиксированным анализатором      279—280
Компенсация, нулевая схема с фиксированным компенсатором      280—282
Компенсация, нулевая схема с фиксированным поляризатором      282—285
Комплексная амплитуда коэффициента отражения      314 527
Комплексная амплитуда коэффициента пропускания      314 327
Комплексная амплитуда, передаточная функция      116 119 121
Конденсированные газы      486—487
Контактный потенциал      495 506
Конформное отображение      111 119
Координатные оси, выбор      87 66
Координатные оси, поворот      35 65 93 177
Коррекция для двух зон      245 246 264 446
Коррекция для четырех зон      247 312
Коррекция ошибок      441—467
Корреляция и когерентность      73
Корреляция, параметр      367—370
Коэффициент поглощения      93 165 812
Коэффициент поглощения систем «внешняя среда-две пленки-подложка»      388
Коэффициент поглощения систем «пленка-подложка»      327
Коэффициент поглощения систем «подложка»      314
Коэффициент поглощения слоистой структуры      387
Коэффициенты пропускания системы внешним «среда-пленка-подложка»      237 330
Коэффициенты пропускания системы «внешняя среда-подложка (Френеля)»      314—315
Коэффициенты пропускания, отношение      343—347
Коэффициенты связи $2\times 2$ матрицы      220 229—237 239
Коэффициенты связи $4\times 4$ матрицы      255 257 258
Коэффициенты связи азимутальной ошибки      221 236 227
Коэффициенты связи для изменений толщины пленки      348
Коэффициенты связи модифицированные      222
Коэффициенты связи несовершенств компонент      221 255
Коэффициенты связи, минимизация      248
Коэффициенты связи, таблицы      227 236—237 239 258
Коэффициенты Френеля      314—343
Критический угол      318 322 357
Лазеры He — Ne      426
Лазеры как источник света      426—428
Лазеры на парах воды      441
Лазеры перестраиваемые      428
Лазеры, использование при юстировке эллипсометра      430
Линзы коллимирующие      425
Линзы фокусирующие      425 455
Логарифмическая спираль      338 347
Матрица Джонса активных оптических систем      186
Матрица Джонса декартова      100 662 563
Матрица Джонса дифференциальная распространения      146 165—167
Матрица Джонса компенсатора      121—125 552
Матрица Джонса компонент эллипсометра      187
Матрица Джонса круговая      100—104 212 552—553
Матрица Джонса несовершенной компоненты      220 223
Матрица Джонса нормализованная      184 454
Матрица Джонса обобщенная      100
Матрица Джонса оптической системы      38
Матрица Джонса основных оптических устройств      91—98
Матрица Джонса поляризатора идеального      125—126
Матрица Джонса поляризатора совершенного      136
Матрица Джонса поляризатора частичного      125—126
Матрица Джонса последовательности оптических компонент      224—223
Матрица Джонса преобразование при изменении базиса      100 101
Матрица Джонса преобразование при повороте координат      90
Матрица Джонса сингулярная      106 112 125 136
Матрица Джонса собственных значений      121 551
Матрица Джонса унитарная      122
Матрица Джонса эллипсометра      194 200 201
Матрица Джонса эрмитова      125
Матрица Джонса, билинейное преобразование      106
Матрица Джонса, действие на вектор Джонса      88
Матрица Джонса, действие на матрицу когерентности      168—172
Матрица Джонса, запись по трем поляризациям      184
Матрица Джонса, запись через пропускание по интенсивности      127
Матрица Джонса, запись через собственные значения      121 561
Матрица Джонса, запись через собственные поляризации в собственные значения      121 551
Матрица Джонса, значения элементов      88—90
Матрица Джонса, измерение      182 183
Матрица Джонса, пластины несовершенств      124
Матрица Джонса, связь с матрицей Мюллера      175 176 201
Матрица Джонса, собственные векторы      121
Матрица Джонса, таблицы      552—554
Матрица Джонса, уравнения для собственных значений      120 121
Матрица Джонса, устройства отражательного типа      97—95
Матрица Джонса, устройства пропускающего типа      91—97
Матрица когерентности      81—84 167—174
Матрица коэффициентов связи      221 232 233 255 259
Матрица Мюллера для пропускания по интенсивности      178
Матрица Мюллера несовершенной компоненты      252
Матрица Мюллера оптических элементов (таблица)      556
Матрица Мюллера оптической системы      176
Матрица Мюллера последовательности элементов      177
Матрица Мюллера, действие на вектор Джонса      176
Матрица Мюллера, измерение      180
Матрица Мюллера, преобразование при повороте координат      177
Матрица Мюллера, связь с матрицей Джонса      175 176 261 267
Матрица обратная      37 40 48
Матрица отражения анизотропного слоя      399
Матрица отражения изотропного отражателя      97
Матрица отражения системы изотропная «внешняя среда-однослойная подложка»      402—403
Матрица поворота      37 81
Матрица пропускания анизотропного слоя      399—400
Матрица сингулярная      124 136
Матрица унитарная      40 43 122
Матрица, границы раздела      381—383
Матрица, дифференцирование      146 251—253
Матрица, преобразования      40 42 62
Матрица, прямое произведение      80 176
Металл, окисление      505—511
Металл, окисление, оптические свойства      476—479
Метод качания      441 457
Микроскоп эллипсометрический лазерный      550
Микроскопия оптическая      532
Микроскопия электронная      512 536
Микротрещины      542
Микроэлектроника      550

1 2 3

О проекте