|
|
 |
| Авторизация |
|
|
|
| Поиск по указателям |
|
|
|
|
|
|
|
 |
|
|
|
| Случинская И.А. — Основы материаловедения и технологии полупроводников |
|
|
|
| Предметный указатель |
Акцепторы 117
Амфотерные примеси 118
Антиструктурные дефекты 91
Арсенид галлия, методы получения MOCVD 344
Арсенид галлия, методы получения с помощью газотранспортных реакций 343
Арсенид галлия, образование химической связи 62
Арсенид галлия, энергетические уровни примесей 132
Атмосферы Коттрелла 105
Атом водорода, классификация состояний 16
Атом водорода, уравнение Шредингера 16
Атом водорода, энергия состояний 16 18
Атомные радиусы 52
Атомные радиусы, ван-дер-ваальсов радиус 57
Атомные радиусы, ковалентный радиус 53
Атомные радиусы, металлический радиус 55
Вакансии 89
Вектор Бюргерса 98
Вицинальные грани 183
Включения второй фазы 116
Выращивание кристаллов из газообразной фазы 250
Выращивание кристаллов из газообразной фазы, лимитирующая стадия 254
Выращивание кристаллов из газообразной фазы, массоперенос в вакууме 251
Выращивание кристаллов из газообразной фазы, метод сублимации-конденсации 257
Выращивание кристаллов из газообразной фазы, метод химических реакций 259
Выращивание кристаллов из газообразной фазы, метод химического транспорта 261
Выращивание кристаллов из расплава 221
Выращивание кристаллов из расплава, вертикальная зонная плавка 232
Выращивание кристаллов из расплава, вытягивание кристаллов из расплава (метод Чохральского) 225
Выращивание кристаллов из расплава, горизонтальная зонная плавка 232
Выращивание кристаллов из расплава, лимитирующая стадия 221
Выращивание кристаллов из расплава, метод Бриджмена 222
Выращивание кристаллов из расплава, нормальная направленная кристаллизация 222
Выращивание кристаллов из раствора 235
Выращивание кристаллов из раствора, лимитирующая стадия 236
Выращивание кристаллов из раствора, метод движущегося растворителя 237
Выращивание кристаллов из раствора, методы роста 237
Газовая фаза 323
Германий, диффузия Cu 305
Германий, диффузия Li 304
Германий, коэффициенты диффузии различных примесей 301
Германий, методы получения, жидкостная эпитаксия 337
Германий, методы получения, метод химических реакций 339
Германий, методы получения, метод химического транспорта 841
Германий, предельная растворимость и коэффициент разделения 282
Германий, температурные зависимости растворимости примесей 313
Германий, энергетические уровни примесей 121
Двойники 113
Двойники, влияние условий выращивания 244
Деградация 88
Дефекты 87
Дефекты двумерные 87 111
Дефекты двумерные, двойники см. «Двойники»
Дефекты двумерные, дефекты упаковки см. «Дефекты упаковки»
Дефекты двумерные, малоугловые границы см. «Малоугловые границы»
Дефекты линейные см. «Дислокации»
Дефекты объемные 88 114
Дефекты объемные, включения второй фазы 116
Дефекты объемные, зональные упругие напряжения 114
Дефекты объемные, поры 115
Дефекты примеси см. «Примеси»
Дефекты собственные 87
Дефекты упаковки 113
Дефекты упаковки, влияние условий выращивания 244
Дефекты Френкеля 89
Дефекты Шоттки 89
Дефекты, влияние условий выращивания 239
Дефекты, влияние условий выращивания неоднородности состава кристалла, обусловленные технологическими причинами 245
Дефекты, связь с условиями выращивания, канальная неоднородность 247
Дефекты, связь с условиями выращивания, концентрационное переохлаждение 248
Диаграмма состояния P — T — X 143 167
Диаграмма состояния конода 145
Диаграмма состояния с неограниченной растворимостью компонентов 145
Диаграмма состояния с неограниченной растворимостью компонентов, типы диаграмм 147
Диаграмма состояния с ограниченной растворимостью компонентов 155
Диаграмма состояния с перитектическим превращением 157
Диаграмма состояния с химическими соединениями 159
Диаграмма состояния с эвтектическим превращением 155
Диаграмма состояния, линия ликвидуса 145
Диаграмма состояния, линия солидуса 145
Диаграмма состояния, правило рычага 146
Диаграмма состояния, фигуративная точка 145
Дивакансии 91
Дислокации 87 95
Дислокации простые 96
Дислокации простые винтовые 96
Дислокации простые краевые 96
Дислокации смешанные 96 97
Дислокации, вектор Бюргерса 98
Дислокации, взаимодействие с точечными дефектами 105
Дислокации, влияние на свойства кристалла 109
Дислокации, влияние условий выращивания 240
Дислокации, линия винтовой дислокации 97
Дислокации, линия краевой дислокации 96
Дислокации, методы наблюдения 110
Дислокации, свойства 100
Дислокации, свойства, механизмы движения 101
Диффузия 283
Диффузия газов 312
Диффузия из бесконечно тонкого слоя 294
Диффузия из постоянного источника 296
Диффузия, восходящая диффузия 286
Диффузия, гетеродиффузия 284
Диффузия, гетеродиффузия, влияние состава сплава и природы диффундирующего вещества на диффузию 310
Диффузия, коэффициент диффузии 284
Диффузия, методы определения 297
Диффузия, механизм вакансионный 289
Диффузия, механизм диссоциативный 305
Диффузия, механизм междоузельный 287
Диффузия, механизм обменный 290
Диффузия, механизмы 286
Диффузия, основные параметры 292
Диффузия, самодиффузия 284
Диффузия, самодиффузия, влияние состава сплава и природы диффундирующего вещества на диффузию 309
Диффузия, термодиффузия 286
Диффузия, электродиффузия 286
Доноры 117
Зародыш 173
Зонная плавка 232
Изоэлектронные лримеси 120
Инконгруэнтно плавящиеся соединения 160
Ионная связь 30
Ионная связь, поляризуемость ионов 31
Ионная связь, постоянная Маделунга 30
Ионная связь, пределы устойчивости структур 32
Ионные радиусы 52 54
Ковалентная связь 24
Ковалентная связь, гибридные орбитали 38
Ковалентная связь, длина связи и углы между связями 37
Ковалентная связь, направленность 37
Ковалентная связь, насыщаемость 37
Ковалентная связь, правило Юм-Розери 37
Конгруэнтно плавящиеся соединения 159
Конденсация 171
Коэффициент разделения примесей 195
Коэффициент разделения примесей равновесный 196
Коэффициент разделения примесей равновесный в Ge и Si 196
Коэффициент разделения примесей равновесный в полупроводниковых соединениях 200
Коэффициент разделения примесей равновесный, метод определения 196
Коэффициент разделения примесей эффективный 201
Коэффициент термической аккомодации 324
Кремний, диффузия различных примесей 301
Кремний, методы получения, метод химических реакций 339
Кремний, методы получения, метод химического транспорта 442
Кремний, предельная растворимость и коэффициент разделения 282
Кремний, энергетические уровни примесей 121
Кристаллизации в неравновесных условиях 162
Кристаллизация 171
Критический зародыш 17 1
Критическое пересыщение 178
Легирование 264
| Легирование в процессе роста из жидкой фазы 266
Легирование в процессе роста из жидкой фазы, методы выравнивания состава вдоль кристалла 268
Легирование в процессе роста из жидкой фазы, требования к чистоте легирующих примесей 282
Легирование радиационное 264
Легирование, ионная имплантация 265
Ликвация внутрикристаллическая 164
Лимитирующая стадия роста 221
Линия ликвидуса 145
Линия солидуса 145
Малоугловые границы 111
Малоугловые границы, влияние условий выращивания 243
Междоузельные атомы 89
Метастабильная фаза 166
Методы определения коэффициентов диффузии 297
Методы определения коэффициентов диффузии, метод электронно-дырочного перехода 298
Методы очистки 190
Методы очистки химические 191
Методы очистки, вертикальная бестигельная зонная плавка 215
Методы очистки, зонная плавка 205
Методы очистки, контроль чистоты материала 215
Методы очистки, нормальная направленная кристаллизация 205
Методы эпитаксии 336
Механизм роста нормальный 186
Механизм роста послойный 184
Механизм роста слоисто-спиральный 186
Молекулярная связь, силы Ван-дер-Ваальса 34
Неограниченная растворимость компонентов друг в друге 145
Несингулярные грани 183
Образование зародышей новой фазы гетерогенное 1&0
Образование центров новой фазы гомогенное 173
Орбиталь атомная 17
Орбиталь атомная d-типа 17 19
Орбиталь атомная f-типа 17 19
Орбиталь атомная p-типа 17 19
Орбиталь атомная s-типа 17 19
Орбиталь молекулярная 24
Орбиталь молекулярная  -типа 26
Орбиталь молекулярная  -типа 26
Орбиталь молекулярная разрыхляющая 25
Орбиталь молекулярная связывающая 25
Параметр ближнего порядка 153
Параметр дальнего порядка 152
Паровая фаза 323
Переохлаждение 171
Пересыщение 171
Поверхностный псевдоморфизм 333
Полупроводниковые соединения 57
Полупроводниковые соединения, закономерности образования бинарных соединений 72
Полупроводниковые соединения, закономерности образования бинарных соединений правило нормальных валентностей 73
Полупроводниковые соединения, закономерности образования бинарных соединений, правило Музера — Пирсона 73
Полупроводниковые соединения, изоэлектронные ряды 66
Полупроводниковые соединения, равновесная ионность полупровод кикового соединения 63
Полупроводниковые соединения, степень ионности полупроводникового соединения 63
Полупроводниковые соединения, химическая связь в  62
Полупроводниковые соединения, химические связи в полупроводниках  81
Полупроводниковые соединения, химические связи в полупроводниках  82
Полупроводниковые соединения, химические связи в полупроводниках, производных от 71
Полупроводниковые соединения, химические связи в полупроводниках, производных от , соединения с дефектной структурой 80
Полупроводниковые соединения, химические связи в полупроводниках, производных от , соединения с резонансными связями 78
Полупроводниковые соединения, эффективные заряды 64
Получение кристаллов из жидкой фазы 219
Поры 115
Правило Клечковского 22
Правило Хунда 22
Примеси 116
Примеси в полупроводниковых соединениях 132
Примеси в элементарных полупроводниках 120
Примеси внедрения 116
Примеси замещения 116
Примеси электрически активные 116 121
Примеси электрически активные амфотерные 117
Примеси электрически активные много зарядные 117
Примеси электрически активные простые 117
Примеси электрически активные, акцепторы 117
Примеси электрически активные, доноры 117
Примеси электрически неактивные 116 130
Примеси электрически неактивные изоэлектронные 120
Примеси, комплексообразование 137
Принцип Паули 22
Расплав 219
Распределение примесей при зонной плавке 209
Распределение примесей при нормальной направленной кристаллизации 207
Раствор 219
Раствор, растворитель 235
Раствор, растворяемое вещество 235
Растворимость 278
Растворимость газов 312
Растворимость предельная 278
Растворимость предельная электрически активной примеси 279
Растворимость ретроградная 316
Растворимость ретроградная, выделение второй фазы 318
Растворимость, температурные зависимости 313
Рост эпитаксиальных пленок из газообразной фазы 323
Рост эпитаксиальных пленок из газообразной фазы, механизмы 323
Рост эпитаксиальных пленок из газообразной фазы, механизмы, пар (газ) — жидкость — кристалл 329
Рост эпитаксиальных пленок из газообразной фазы, механизмы, пар (газ) — кристалл 323
Рост эпитаксиальных пленок из газообразной фазы, молекулярно-кинетический подход 327
Рост эпитаксиальных пленок из газообразной фазы, термодинамический подход 326
Сингулярные грани 183
Скорость образования центров новой фазы 176
Скрытая теплота кристаллизации 142
Соединения 74
Степень ионности связи 60
Твердые растворы 74
Твердые растворы, внедрения 75
Твердые растворы, вычитания 75
Твердые растворы, замещения 74
Твердые растворы, правило Вегарда 76
Твердые растворы, упорядочение 151
Термодинамическая система гетерогенная 140
Термодинамическая система гомогенная 140
Термодинамическая система, изменение термодинамического потенциала при смешении 148
Термодинамическая система, компонент системы 140
Термодинамическая система, число степеней свободы 142
Точечные дефекты 87 89
Точечные дефекты антиструктурные 91
Точечные дефекты по Френкелю 89
Точечные дефекты по Шоттки 89
Точечные дефекты, вакансии 89
Точечные дефекты, влияние условий выращивания 239
Точечные дефекты, дивакансии 91
Точечные дефекты, комплексы 91
Точечные дефекты, междоузелъные атомы 89
Точечные дефекты, механизмы образования 92
Тройные полупроводниковые соединения 84
Тройные полупроводниковые соединения, закономерности образования 85
Тройные полупроводниковые соединения, закономерности образования соединений с алмазоподобной структурой 86
Упорядочение в твердых растворах 151
Фазовое равновесие, диаграммы 139
Фазовое равновесие, понятие термодинамической системы 139
Фазовое равновесие, понятие фазы 140
Фазовое равновесие, правило Гиббса 141
Химическая связь 22
Химическая связь, водородная связь 36
Химическая связь, ионная связь 30
Химическая связь, классификация 24
Химическая связь, ковалентная связь 24
Химическая связь, металлическая связь 33
Химическая связь, молекулярная связь 34
Химическая связь, энергия 23
Центр кристаллизации 173
Центр новой фазы 173
Электроотрицательность элементов 57
Электроотрицательность элементов, потенциал ионизации 58
Электроотрицательность элементов, сродство атома к электрону 58
Электроотрицательность элементов, шкала по Малликену 57
Электроотрицательность элементов, шкала по Полингу 58
Элементарные полупроводники 42
Элементарные полупроводники, бор 51
Элементарные полупроводники, висмут 48
|
|
|
| Реклама |
|
|
|
|
|
О проекте