Черняев В.Н, — Физико-химические процессы в технологии РЭА :: Электронная библиотека попечительского совета мехмата МГУ

Главная Ex Libris Книги Журналы Статьи Серии Каталог Wanted Загрузка ХудЛит Справка Поиск по индексам Поиск Форум

Авторизация

Поиск по указателям

Черняев В.Н, — Физико-химические процессы в технологии РЭА

Обсудите книгу на научном форуме

Нашли опечатку?
Выделите ее мышкой и нажмите Ctrl+Enter

Название: Физико-химические процессы в технологии РЭА

Автор: Черняев В.Н,

Аннотация:

В книге рассматриваются теория основных технологических процессов (ТП) производства РЭА, способы их осуществления и методы расчета, а в ряде случаев и принципы устройства базовых технологических установок. Курс книги преследует 3 цели:
1) дать общее представление о ТП производства РЭА;
2) рассмотреть основы теории и анализа базовых ТП производства РЭА;
3) научить студентов элементам исследования физико-химических процессов технологии РЭА.

Язык:

Рубрика: Физика/

Статус предметного указателя: Готов указатель с номерами страниц

ed2k: ed2k stats

Год издания: 1987

Количество страниц: 374

Добавлена в каталог: 24.04.2010

Операции: Положить на полку | Скопировать ссылку для форума | Скопировать ID

Предметный указатель

Аберрации      295 296
Адгезия      74 87 96—100 170
Адгезия физическая      98
Адгезия химическая      98 106
Адсорбция      85 88 95 168 171
Адсорбция физическая      88 90 92—94
Адсорбция химическая      88 90 92 93 95
Активация поверхности диэлектриков      345 346
Анализ кинетический      42
Анализ термодинамический      14 23
Анизотропия травления      238 239
Анод условный      221
Ансамбли частиц      30
Ансамбли частиц вырожденные      30 37
Ансамбли частиц невырожденные      30 36
Апертура числовая      293
Аппаратурно-процессная единица      8 9
Вероятность состояния системы термодинамическая      27 29 37
Вещества поверхностно-активные      166 171 172
Внутренняя энергия системы      14 16 17
Вращение циклотронное      218
Время наработки на отказ      192 194
Время сварки      324
Вторичный эффект напыления      240
Высота потенциального барьера      108 109
Выход годных изделий      10
Выход квантовый      282
Выход продукта реакции      145
Глубина резкости изображения      295
Градиент давления      251
Градиент концентрации      50 126 133 251
Градиент коэффициента диффузии      193
Градиент скорости      46
Градиент температуры      50 193
Давление эффективное      146
Десорбция      88 94
Дефекты в паяных соединениях      329
Дефекты печатных плат при химическом осаждении      350
Дефекты печатных плат с гальванической металлизацией      351—353
Дефекты радиационные      241 262 266 271—274
Диаграммы равновесия      182
Диаграммы рассеивания      188
Диаграммы состояния      24—26
Дисперсность материалов      86 87
Диссоциация      244
Дифракция света      293 294
Диффузия восходящая      138
Диффузия компонентов      125 126
Диффузия обратная      226—228
Диффузия поверхностная      75—77 79 195
Диффузия трубчатая      139
Длина свободного пробега      44 46 176 207 213
Закон Аррениуса      261
Закон Бугера — Ламберта — Бера      280
Закон взаимозаместимости      280 281
Закон Генри      113
Закон Гесса      142
Закон Гротгуса      279
Закон диффузии второй      127 135 138
Закон косинуса      177
Закон Ома для плазмы      207
Закон Пашепа      209
Закон Рауля      114 179
Закон термодинамики второй      16 17
Закон термодинамики первый      16
Закон Фарадея      157
Закон фотохимической эквивалентности      282
Зародыш критический      66—68 71—75 80
Зародыш куполообразный      70 71
Зародыш нестабильный      68
Зародыш стабильный      68 73 81
Зародыш сферический      67
Изменение свободной энергии      19 47 85 143 159—161
Изменение энтропии      28 29 48
Изопака      281
Имплантация      262
Искажения динамические      39 40
Искажения статические      39 40
Источники системы      55 56
Кислотостойкость      289—291
Кластер радиационных дефектов      272 273
Константа равновесия      58 95 118 144 145 155 156
Константа скорости      57 150 155 236
Константа скорости обратного процесса      57 144 145
Константа скорости прямого процесса      57 58 144 145
Концентрация на поверхности травления      254 256
Концентрация химически активных частиц в плазме      249—251 256
Коэффициент активности      179—181
Коэффициент динамической вязкости      44 46
Коэффициент диффузии      44 47 117 131—140 192
Коэффициент диффузии эффективный      138
Коэффициент ионно-электронной эмиссии      224
Коэффициент испарения      177 178
Коэффициент использования рабочего газа      253
Коэффициент использования тока      157
Коэффициент контрастности      285 286
Коэффициент массоотдачи      54
Коэффициент массопередачи      117 156
Коэффициент межфазового разделения      179 183
Коэффициент переноса импульса      54
Коэффициент переноса эмпирический      54
Коэффициент поглощения молекулярный      280
Коэффициент поглощения молярный      280
Коэффициент ползучести      323
Коэффициент распыления      213 225—227 235
Коэффициент теплоотдачи      54
Коэффициент теплопроводности      44 46
Коэффициент трансформации      152
Коэффициент электропроводности      44
Критерий Рэлея      294 295
Литография      276
Локализация плазмы      221
Маска контактная      277 278
Маска фоторезиста      234 241 289—291
Механизм образования соединений паяных      325
Механизм образования соединений сварных      319—322
Микросхема интегральная      108
Модифицирование химическое      346
Натяжение поверхностное      85—87
Область травления диффузионная      255 256
Область травления кинетическая      255 256
Образование зародышей гетерогенное      65 66 69 71
Образование зародышей гомогенное      65 69 71
Осаждение металла      339—344
Осаждение металла методом восстановления      343 344
Осаждение металла методом контактной металлизации      342
Осаждение металла методом погружения      341 342
Осаждение металла электрохимическое      339—341 344 347—349
Отжиг      271—274
Отказы в пленках      189 192—195 202
Очистка плат      337 338
Очистка плат физическим воздействием      337
Очистка плат химическая      337—339
Очистка поверхности      100 103—105
Пайка      317 318
Параметры состояния системы термодинамические      15 16 18 20 23 30 38
Пассивирование металла      357
Пассивирование поверхности катода      168 171
Пассивирование поверхности материалов      237
Перенапряжение кристаллизационное      168
Перенапряжение на электродах      159 160
Плазма      203 204 206 208
Плазма высокотемпературная      212
Плазма низкотемпературная      208
Плазмостойкость      291
Плата печатная      333—337
Пленки      65—67 72—76 167—172 178 187
Плоскость Мотано      141
Плотность оптическая      285
Плотность плазмы      234 235

Плотность тока в плазме      206
Полином Лагранжа      230
Поляризация      162
Поляризация анодная      164
Поляризация катодная      164—166 170 173
Поляризация концентрационная      162 163
Поляризация электрохимическая      162 163
Порядок реакции      58 59 150
Порядок реакции суммарный      58 150
Потенциал разложения      158
Потенциал стандартный      354
Потенциал химический      18 21 22 25 37 38 89
Потенциал электродный      158
Потенциалы термодинамические      20
Поток импульса      52 54 59
Поток компонента      52 59 64
Поток конвективный      52 59
Поток конвективный ламинарный      52
Поток конвективный турбулентный      52 53
Поток массы      52 54 59
Поток параметра      45 48
Поток переходящий      53 54
Поток теплоты      52 54 64
Принцип Больцмана      27
Принцип Гиббса — Кюри      86
Припои      326 327
Пробой диэлектрика      242
Проекция пробега      264—266
Промывка      305
Профиль травления      261
Процессы неравновесные      51
Процессы переноса      43
Процессы переноса вещества      43 47 174 175
Процессы переноса количества движения      43 45
Процессы переноса теплоты      43 46 51
Процессы переноса электрического заряда      43 47
Процессы равновесные      51
Проявление      301—303
Работа равновесного процесса      16
Работа расширения      16
Радиус дебаевский      205
Радиус ларморовский      218 219 222
Распределение Дрюйвестейна      246
Распределение Максвелла      246
Распределение пробегов      264 267
Распределение угловое      215
Распределение частиц по импульсам движения      32
Распределение частиц по координатам      31
Распределение частиц по энергиям      34
Распыление ионно-плазменное      216
Распыление магнетронное      217
Распыление физическое      212 213 234
Распыление химическое      212
Раствор      113—116 122
Реакции рекомбинации гетерогенные      247 250
Реакции рекомбинации гомогенные      247 250
Реакции химические гетерогенные      148
Реакции химические гетерофазные      148
Реакции химические гомогенные      148
Реакции химические гомофазные      148
Регрессия скрытого изображения      300
Резисты      276
Резисты негативные      277
Резисты позитивные      277
Рекомбинация диффузионная гетерогенная      251
Релаксация      42
Сварка давлением      313 314 322—324
Сварка плавлением      317
Светочувствительность      284 285
Селективность травления      239 240 243 261
Сенсибилизация      340 341 345
Сечение эффективное      207
Сила адгезии      96—98
Сила обобщенная      49
Сила равнодействующая      190
Сила электрического поля      190 191
Сила электронного ветра      190 191 193
Силы Ван-дер-Ваальса      90 92
Система гетерогенная      15
Система гомогенная      15
Система макроскопическая      14 25
Система оптическая      291—293
Система термодинамическая      15 17 25
Скорость генерации химически активных частиц      244 247 250 252
Скорость деформации      323
Скорость диффузии      139
Скорость ионно-плазменного распыления      216 218 226—228
Скорость испарения веществ      41 42
Скорость образования зародыша      68 69 71 72 74 78 169
Скорость растворения      117 118 120 121
Скорость растворения диффузионной стадии      117 120 147
Скорость растворения реакционной стадии      119 120 147 149
Скорость реакции общая      58 156
Скорость реакции химически активных частиц      254
Скорость рекомбинации гетерогенной      250
Скорость рекомбинации гомогенной      249
Скорость технологического процесса      57—59
Скорость травления      235 236 241 252 253 257 258 260 358
Скорость химического процесса      148
Смачивание      87 88 100
Соединения неразъемные      310—313
Сопротивление контакта переходное      314
Сопротивление процесса диффузионное      255
Сопротивление процесса кинетическое      255
Состояние системы неравновесное      15 43
Состояние системы равновесное      15 27 42
Состояние стандартное      142 143
Состояния поверхностные      242
Способность разрешающая      286 288—290 295
Способность рассеивающая электролита      348
Способность тормозная электронная      265 266
Среднее значение кинетической энергии частиц      36
Среднее значение скорости частиц      36
Статистика Бозе — Эйнштейна      30 37
Статистика Максвелла — Больцмана      27 30 39
Статистика Ферми — Дирака      30 37
Степень ионизации      234 235
Степень испарения      183 184
Степень плазмохимической диссоциации      251
Стоки системы      54 56
Структура паяных соединений      327—329
Структуры тестовые      198
Сушка      305
Теория Гиббса — Фольмера      66 79
Теория Френкеля — Родина      66 80 82
Термодиффузия      48
Травление ионно-плазменное      234—242
Травление плазмохимическое      234 243 259—261
Травление с восстановлением кислорода      365
Травление с выделением водорода      355
Травление с образованием комплексов      356
Угол контактный      69 70 87
Уравнение Аррениуса      150
Уравнение баланса      56
Уравнение Ван-дер-Ваальса      24
Уравнение Ван-Лаара      180
Уравнение Герца      314
Уравнение Герца — Кнудсена      176
Уравнение Гиббса адсорбционное      89
Уравнение Гиббса — Гельмгольца      20
Уравнение Гиббса — Дюгема      180
Уравнение Кельвина      89
Уравнение Клапейрона — Клаузиуса      114 115 174
Уравнение Клапейрона — Менделеева      24
Уравнение Ленгмюра      95 96 177
Уравнение Леннард — Джонса      91
Уравнение непрерывности для химически активных частиц      252
Уравнение переноса импульса      59 60
Уравнение переноса компонента      59 60
Уравнение Пуассона      204

1 2

О проекте