Черняев В.Н, — Физико-химические процессы в технологии РЭА :: Электронная библиотека попечительского совета мехмата МГУ

Главная Ex Libris Книги Журналы Статьи Серии Каталог Wanted Загрузка ХудЛит Справка Поиск по индексам Поиск Форум

Авторизация

Поиск по указателям

Черняев В.Н, — Физико-химические процессы в технологии РЭА

Обсудите книгу на научном форуме

Нашли опечатку?
Выделите ее мышкой и нажмите Ctrl+Enter

Название: Физико-химические процессы в технологии РЭА

Автор: Черняев В.Н,

Аннотация:

В книге рассматриваются теория основных технологических процессов (ТП) производства РЭА, способы их осуществления и методы расчета, а в ряде случаев и принципы устройства базовых технологических установок. Курс книги преследует 3 цели:
1) дать общее представление о ТП производства РЭА;
2) рассмотреть основы теории и анализа базовых ТП производства РЭА;
3) научить студентов элементам исследования физико-химических процессов технологии РЭА.

Язык:

Рубрика: Физика/

Статус предметного указателя: Готов указатель с номерами страниц

ed2k: ed2k stats

Год издания: 1987

Количество страниц: 374

Добавлена в каталог: 24.04.2010

Операции: Положить на полку | Скопировать ссылку для форума | Скопировать ID

Предметный указатель

Уравнение свойства обобщенное      45
Уравнение свойства энергии      59 60
Уравнение Стокса — Эйнштейна      131
Уравнение Фрейндлиха      96
Уравнение Шредера — Ле Шателье      115
Уравнения состояния системы      15 24
Условия равновесия в системе      20—22
Фактор геометрический      69
Фактор травления      358
Факторы технологические      11
Фиксирование      303 304
Флуктуации      39 40
Флюсы      325 326 329—332
Формула Чайлда — Ленгмюра      220
Фото перегруппировка      283 284
Фотолиз      283
Фотоперенос      284
Фотоприсоединенне      283
Фоторезисты      306 307—310
Фоторезисты негативные      307 308
Фоторезисты позитивные      309 310
Фотосенсибилизация      284
Фотошаблон      296 297
Функция ошибок дополнительная      129
Функция распределения Бозе — Эйнштейна      37
Функция распределения Максвелла — Больцмана      31 33 34

Функция распределения скоростей движения частиц      35
Функция распределения Ферми — Дирака      37
Частота перескоков      132—134
Частота плазменная      206
Число степеней свободы      23
Чистота поверхности      99
Электродиффузия      47 190 192 193 197 201 202
Электролиз      158 159 162
Электропроводность удельная средняя      207
Энергия активация      118—121 134 135 151 152 195 199 200 257
Энергия взаимодействия      90 93 97
Энергия испарения      175
Энергия поверхностная      18
Энергия свободная      17 174
Энергия свободная Гельмгольца      19
Энергия свободная Гиббса      19
Энергия свободная образования зародыша      167 168
Энергия свободная реакции      144
Энтальпия      19
Энтропия      17 19 27—29
Эпитаксия      75 76 79—83
Эффект аморфизации      272 273
Эффект каналирования      265 267—269
Эффективность ионно-плазменных систем      224
Эффективность ионного распыления      225
Эффективность плазмообразования      224
Эффективность энергетическая системы ионного распыления      226

1 2

О проекте