В монографии обобщены результаты исследований структуры и физико-химических свойств защитных покрытий, получаемых испарением и распылением материалов в вакууме. Описаны различные методы электронно-лучевого испарения (прямое, реактивное, электронно-ионное) и распыления. Рассмотрено влияние физических условий осаждения на структуру конденсированных покрытий. Приведены многочисленные примеры однокомпонентных, многокомпонентных и композиционных покрытий, используемых в машиностроении для защиты ответственных деталей и узлов от окисления и газовой коррозии.