Главная    Ex Libris    Книги    Журналы    Статьи    Серии    Каталог    Wanted    Загрузка    ХудЛит    Справка    Поиск по индексам    Поиск    Форум   
blank
Авторизация

       
blank
Поиск по указателям

blank
blank
blank
Красота
blank
Frühauf J. — Shape and functional elements of the bulk silicon microtechnique: a manual of wet-etched silicon structures
Frühauf J. — Shape and functional elements of the bulk silicon microtechnique: a manual of wet-etched silicon structures

Читать книгу
бесплатно

Скачать книгу с нашего сайта нельзя

Обсудите книгу на научном форуме



Нашли опечатку?
Выделите ее мышкой и нажмите Ctrl+Enter


Название: Shape and functional elements of the bulk silicon microtechnique: a manual of wet-etched silicon structures

Автор: Frühauf J.

Аннотация:

This manual presents a survey of the form-related and functional elements of the bulk silicon microtechnique. A systematic description of simple shape elements and of elements for mechanical, fluidic and optical applications is given. It includes practical instructions for the use of the relevant techniques and an extensive collection of examples for the support of the search for applications via photographs, drawings and references. Especially written for producers of sensors and microtechnical components, it serves as a valuable guide to the design of etch masks and processes while summarizing the important properties of silicon.


Язык: en

Рубрика: Технология/

Статус предметного указателя: Неизвестно

ed2k: ed2k stats

Издание: 1 edition

Год издания: 2005

Количество страниц: 221

Добавлена в каталог: 28.03.2011

Операции: Положить на полку | Скопировать ссылку для форума | Скопировать ID
blank
Предметный указатель
blank
Реклама
blank
blank
HR
@Mail.ru
       © Электронная библиотека попечительского совета мехмата МГУ, 2004-2017
Электронная библиотека мехмата МГУ | Valid HTML 4.01! | Valid CSS! О проекте