Главная    Ex Libris    Книги    Журналы    Статьи    Серии    Каталог    Wanted    Загрузка    ХудЛит    Справка    Поиск по индексам    Поиск    Форум   
blank
Авторизация

       
blank
Поиск по указателям

blank
blank
blank
Красота
blank
Rccs W.S. (ed.) — CVD of nonmetals
Rccs W.S. (ed.) — CVD of nonmetals

Читать книгу
бесплатно

Скачать книгу с нашего сайта нельзя

Обсудите книгу на научном форуме



Нашли опечатку?
Выделите ее мышкой и нажмите Ctrl+Enter


Название: CVD of nonmetals

Автор: Rccs W.S. (ed.)

Аннотация:

Written by leading experts in the field, this practical reference handbook offers an up-to-date, critical survey of the chemical vapor deposition (CVD) of nonmetals, a key technology in semiconductor electronics, finishing, and corrosion protection. The basics necessary for any CVD process are discussed in the introduction. In the following chapters, precursor requirements, with an emphasis on materials chemistry, common structures of reactants and substrates, as well as reaction control are discussed for a broad range of compositions including superconducting, conducting, semiconducting, insulating and structural materials. Technological issues, such as reactor geometries and operation parameters, are assessed and the viability of the method, both technically and economically, is compared with other techniques for the preparation of thin films.


Язык: en

Рубрика: Химия/

Статус предметного указателя: Неизвестно

ed2k: ed2k stats

Год издания: 1996

Количество страниц: 441

Добавлена в каталог: 15.03.2011

Операции: Положить на полку | Скопировать ссылку для форума | Скопировать ID
blank
Предметный указатель
blank
Реклама
blank
blank
HR
@Mail.ru
       © Электронная библиотека попечительского совета мехмата МГУ, 2004-2019
Электронная библиотека мехмата МГУ | Valid HTML 4.01! | Valid CSS! О проекте