Главная    Ex Libris    Книги    Журналы    Статьи    Серии    Каталог    Wanted    Загрузка    ХудЛит    Справка    Поиск по индексам    Поиск    Форум   
blank
Авторизация

       
blank
Поиск по указателям

blank
blank
blank
Красота
blank
Setter N. (ed.) — Electroceramic-based MEMS: fabrication-technology and applications
Setter N. (ed.) — Electroceramic-based MEMS: fabrication-technology and applications

Читать книгу
бесплатно

Скачать книгу с нашего сайта нельзя

Обсудите книгу на научном форуме



Нашли опечатку?
Выделите ее мышкой и нажмите Ctrl+Enter


Название: Electroceramic-based MEMS: fabrication-technology and applications

Автор: Setter N. (ed.)

Аннотация:

The book is focused on the use of functional oxide and nitride thin films to increase functionality and application range of MEMS (microelectromechanical systems) in the large sense, including micro-sensors, micro-actuators, and electronic components for high frequency communications. The book covers major topics and is divided into two parts (a) applications and emerging applications, and (b) materials, fabrication technologies, and functioning issues.


Язык: en

Рубрика: Технология/

Статус предметного указателя: Неизвестно

ed2k: ed2k stats

Издание: 1 edition

Год издания: 2005

Количество страниц: 415

Добавлена в каталог: 11.03.2011

Операции: Положить на полку | Скопировать ссылку для форума | Скопировать ID
blank
Предметный указатель
blank
Реклама
blank
blank
HR
@Mail.ru
       © Электронная библиотека попечительского совета мехмата МГУ, 2004-2017
Электронная библиотека мехмата МГУ | Valid HTML 4.01! | Valid CSS! О проекте