Рассмотрены вопросы моделирования интегральных микротехнологнй, физико-топологического проектирования и процессы получения наноструктурньк материалов для элементов РЭС.
Предназначено для студентов специальности 210201 при изучении обще-инженерного курса «Автоматизация технологического проектирования радиоэлектронных средств» всех форм обучения.