Нашли опечатку? Выделите ее мышкой и нажмите Ctrl+Enter
Название: Основы анализа поверхности и тонких пленок
Авторы: Фелдман Л., Майер Д.
Аннотация:
Монография, написанная известными американскими специалистами в области атомных столкновений в твердых телах, посвящена физическим основам и методам использования пучков ионов, электронов н рентгеновского излучения для анализа структуры н состава тонких пленок вещества. Эти методы играют важную роль в развитии современной атомной технологии, особенно в области микроэлектроники. Все вопросы изложены на высоком научном уровне. Для специалистов, интересующихся проблемами анализа поверхности и тонких пленок, аспирантов и студентов.
Язык:
Статус предметного указателя:Готов указатель с номерами страниц