Главная    Ex Libris    Книги    Журналы    Статьи    Серии    Каталог    Wanted    Загрузка    ХудЛит    Справка    Поиск по индексам    Поиск    Форум   
blank
Авторизация

       
blank
Поиск по указателям

blank
blank
blank
Красота
blank
Данилин B.C. — Вакуумные процессы и оборудование микроэлектроники
Данилин B.C. — Вакуумные процессы и оборудование микроэлектроники



Обсудите книгу на научном форуме



Нашли опечатку?
Выделите ее мышкой и нажмите Ctrl+Enter


Название: Вакуумные процессы и оборудование микроэлектроники

Автор: Данилин B.C.

Аннотация:

В брошюре кратко рассмотрены вакуумные процес-
сы в химически активной среде (плазмохимическое
осаждение пленок при пониженном давлении и вакуум-
но-плазменное травление микроструктур). Дан анализ
влияния различных факторов на параметры продес-
сов осаждения и травления. Сформулированы требо-
вания к вакуумным насосам, используемым для от-
качки химически активных газов; рассмотрены и
сопоставлены основные виды насосов.


Язык: ru

Рубрика: Технология/

Статус предметного указателя: Неизвестно

ed2k: ed2k stats

Год издания: 1987

Количество страниц: 72

Добавлена в каталог: 12.09.2010

Операции: Положить на полку | Скопировать ссылку для форума | Скопировать ID
blank
Предметный указатель
blank
Реклама
blank
blank
HR
@Mail.ru
       © Электронная библиотека попечительского совета мехмата МГУ, 2004-2021
Электронная библиотека мехмата МГУ | Valid HTML 4.01! | Valid CSS! О проекте