Данилин B.C. — Вакуумные процессы и оборудование микроэлектроники
Обсудите книгу на
Нашли опечатку? Выделите ее мышкой и нажмите Ctrl+Enter
Название: Вакуумные процессы и оборудование микроэлектроники
Автор: Данилин B.C.
Аннотация:
В брошюре кратко рассмотрены вакуумные процес-
сы в химически активной среде (плазмохимическое
осаждение пленок при пониженном давлении и вакуум-
но-плазменное травление микроструктур). Дан анализ
влияния различных факторов на параметры продес-
сов осаждения и травления. Сформулированы требо-
вания к вакуумным насосам, используемым для от-
качки химически активных газов; рассмотрены и
сопоставлены основные виды насосов.
|
|
О проекте