В обзоре проведен анализ развития безмасляных форвакуумных насосов. Показано, что мерой чистоты создаваемого насосами вакуума служит отсутствие в спектре остаточных газов элементов с массовыми числами свыше 44. Рассмотрены конструкции современных безмасляных механических насосов, выпускаемых различными зарубежными фирмами. Приведены основные характеристики 22 промышленных моделей насосов, области их наиболее эффективного применения, а также оценка экономической целесообразности использования рассматриваемых насосов.
Обзор составлен по опубликованной отечественной и зарубежной литературе.