Прогресс в микроэлектронике связывают с уменьшением
линейных размеров функциональных элементов. Если их размеры
становятся порядка нанометров, то существенными являются
квантовые эффекты, принципиально меняющие физику работы.
Созданием таких элементов и интегральных квантовых схем на их
основе занимается нанотехнология.
В пособии изложены физические основы зондовой
нанотехнологии на базе сканирующих туннельных и атомно-
силовых микроскопов, показаны основные достижения,
обсуждаются проблемы, требующие решения.
Предназначено для студентов старших курсов и аспирантов,
желающих познакомиться с новым научным направлением и
попробовать свои силы в развитии технологии 21 века.