Главная    Ex Libris    Книги    Журналы    Статьи    Серии    Каталог    Wanted    Загрузка    ХудЛит    Справка    Поиск по индексам    Поиск    Форум   
blank
Авторизация

       
blank
Поиск по указателям

blank
blank
blank
Красота
blank
Sedky S. — Post-Processing Techniques for Integrated MEMS
Sedky S. — Post-Processing Techniques for Integrated MEMS

Читать книгу
бесплатно

Скачать книгу с нашего сайта нельзя

Обсудите книгу на научном форуме



Нашли опечатку?
Выделите ее мышкой и нажмите Ctrl+Enter


Название: Post-Processing Techniques for Integrated MEMS

Автор: Sedky S.

Аннотация:

Sedky (physics, The American University, Cairo, Egypt) investigates the possibility of developing high-quality MEMS structural layers at temperatures compatible with the standard CMOS backend. He first reviews MEMS fabrication technologies, then defines the maximum thermal budget that can be accommodated by prefabricated standard electronics. He highlights the features of different materials suitable for MEMS, and discusses the effect of deposition conditions and the type of substrate on the physical properties of the different materials. Silicon germanium as a MEMS structural layer is also discussed in detail.


Язык: en

Рубрика: Физика/

Статус предметного указателя: Неизвестно

ed2k: ed2k stats

Год издания: 2006

Количество страниц: 207

Добавлена в каталог: 29.03.2010

Операции: Положить на полку | Скопировать ссылку для форума | Скопировать ID
blank
Предметный указатель
blank
Реклама
blank
blank
HR
@Mail.ru
       © Электронная библиотека попечительского совета мехмата МГУ, 2004-2017
Электронная библиотека мехмата МГУ | Valid HTML 4.01! | Valid CSS! О проекте