Главная    Ex Libris    Книги    Журналы    Статьи    Серии    Каталог    Wanted    Загрузка    ХудЛит    Справка    Поиск по индексам    Поиск    Форум   
blank
Авторизация

       
blank
Поиск по указателям

blank
blank
blank
Красота
blank
Sherer J.M. — Semiconductor Industry: Wafer Fab Exhaust Management
Sherer J.M. — Semiconductor Industry: Wafer Fab Exhaust Management

Читать книгу
бесплатно

Скачать книгу с нашего сайта нельзя

Обсудите книгу на научном форуме



Нашли опечатку?
Выделите ее мышкой и нажмите Ctrl+Enter


Название: Semiconductor Industry: Wafer Fab Exhaust Management

Автор: Sherer J.M.

Аннотация:

Now a consultant, Sherer draws on his long background in chemical, environmental, and safety engineering to offer ideas and solutions to engineering questions about wafer fabrication exhaust management, which he says can encompass exhaust systems, point-of-use devices, and centralized abatement equipment. He uses the terms wafer fab(rication) and semiconductor manufacturing interchangeably. Among his topics are the semiconductor manufacturing facility, exhaust types and challenges, point-of-use devices close to the process equipment and their required exhaust lines, centralized wet scrubbers for a centralized acid exhaust system and a centralized ammonia exhaust system, centralized equipment to control volatile organic compounds, and emergency releases.


Язык: en

Рубрика: Технология/

Статус предметного указателя: Неизвестно

ed2k: ed2k stats

Год издания: 2005

Количество страниц: 194

Добавлена в каталог: 31.01.2010

Операции: Положить на полку | Скопировать ссылку для форума | Скопировать ID
blank
Предметный указатель
blank
Реклама
blank
blank
HR
@Mail.ru
       © Электронная библиотека попечительского совета мехмата МГУ, 2004-2017
Электронная библиотека мехмата МГУ | Valid HTML 4.01! | Valid CSS! О проекте