Главная    Ex Libris    Книги    Журналы    Статьи    Серии    Каталог    Wanted    Загрузка    ХудЛит    Справка    Поиск по индексам    Поиск    Форум   
blank
Авторизация

       
blank
Поиск по указателям

blank
blank
blank
Красота
blank
O'Mara W. C., Herring R.B., Hunt L.P. — Handbook of Semiconductor Silicon Technology
O'Mara W. C., Herring R.B., Hunt L.P. — Handbook of Semiconductor Silicon Technology



Обсудите книгу на научном форуме



Нашли опечатку?
Выделите ее мышкой и нажмите Ctrl+Enter


Название: Handbook of Semiconductor Silicon Technology

Авторы: O'Mara W. C., Herring R.B., Hunt L.P.

Аннотация:

This handbook is a comprehensive summary of the science, technology and manufacturing of semiconductor silicon materials. Every known property of silicon is detailed. A complete set of binary phase diagrams is included. Practical aspects such as materials handling, safety, impurity and defect reduction are also discussed in depth.

Fundamentals in the areas of silicon precursor compounds, polysilicon, silicon crystal growth, wafer fabrication, epitaxial and CVD deposition are addressed by experts in these fields. Materials properties covered include electrical, optical and mechanical properties, deep level impurities and carrier lifetime, and thermochemistry, as well as specific sections on oxygen, carbon, and nitrogen impurities. The book contains an extensive set of references, tables of materials constants, and silicon properties, and a presentation on the state of the art of materials manufacturing.


Язык: en

Рубрика: Химия/

Статус предметного указателя: Неизвестно

ed2k: ed2k stats

Издание: 1st edition

Год издания: 1990

Количество страниц: 795

Добавлена в каталог: 16.08.2009

Операции: Положить на полку | Скопировать ссылку для форума | Скопировать ID
blank
Предметный указатель
blank
Реклама
blank
blank
HR
@Mail.ru
       © Электронная библиотека попечительского совета мехмата МГУ, 2004-2024
Электронная библиотека мехмата МГУ | Valid HTML 4.01! | Valid CSS! О проекте