Главная    Ex Libris    Книги    Журналы    Статьи    Серии    Каталог    Wanted    Загрузка    ХудЛит    Справка    Поиск по индексам    Поиск    Форум   
blank
Авторизация

       
blank
Поиск по указателям

blank
blank
blank
Красота
blank
Боков Ю.С. — Фото-, электроно- и рентгенорезисты
Боков Ю.С. — Фото-, электроно- и рентгенорезисты



Обсудите книгу на научном форуме



Нашли опечатку?
Выделите ее мышкой и нажмите Ctrl+Enter


Название: Фото-, электроно- и рентгенорезисты

Автор: Боков Ю.С.

Аннотация:

Посвящена вопросам получения фото-, электроно- и рентгенорезистов и применения их в технологии микроэлектронных изделий. Приведена классификация регистрирующих защитных материалов, изложены основные химические и физико-химические принципы их создания. Рассмотрены свойства различных типов фото-, электроно- и рентгенорезистов и особенности их применения, а также перспективы дальнейшего развития техники защитных материалов.
Для инженеров-технологов, специализирующихся в области химической технологии микроэлектроники.


Язык: ru

Рубрика: Физика/

Статус предметного указателя: Нет и не будет

ed2k: ed2k stats

Год издания: 1982

Количество страниц: 136

Добавлена в каталог: 22.02.2008

Операции: Положить на полку | Скопировать ссылку для форума | Скопировать ID
blank
HR
@Mail.ru
       © Электронная библиотека попечительского совета мехмата МГУ, 2004-2021
Электронная библиотека мехмата МГУ | Valid HTML 4.01! | Valid CSS! О проекте