Главная    Ex Libris    Книги    Журналы    Статьи    Серии    Каталог    Wanted    Загрузка    ХудЛит    Справка    Поиск по индексам    Поиск    Форум   
blank
Авторизация

       
blank
Поиск по указателям

blank
blank
blank
Красота
blank
Виноградов М.И. — Вакуумные процессы и оборудование ионно- и электронно-лучевой технологии
Виноградов М.И. — Вакуумные процессы и оборудование ионно- и электронно-лучевой технологии



Обсудите книгу на научном форуме



Нашли опечатку?
Выделите ее мышкой и нажмите Ctrl+Enter


Название: Вакуумные процессы и оборудование ионно- и электронно-лучевой технологии

Автор: Виноградов М.И.

Аннотация:

Рассмотрено применение электронных пучков в электронно-литографических установках (ЭЛУ), используемых в технологии производства твердотельных электронных приборов. Описано устройство и принцип действия, приведены основные технические параметры ЭЛУ и дана их классификация. Описано оборудование ионно-лучевой обработки и его основные элементы. Рассмотрены технологические-процессы, в которых используются ионно-лучевые методы обработки: очистка, травление и полировка поверхности, нанесение пленок распылением материалов пучком ионов, осаждение пленок из ионных пучков.


Язык: ru

Рубрика: Технология/

Статус предметного указателя: Неизвестно

ed2k: ed2k stats

Год издания: 1989

Количество страниц: 56

Добавлена в каталог: 24.09.2007

Операции: Положить на полку | Скопировать ссылку для форума | Скопировать ID
blank
Предметный указатель
blank
Реклама
blank
blank
HR
@Mail.ru
       © Электронная библиотека попечительского совета мехмата МГУ, 2004-2021
Электронная библиотека мехмата МГУ | Valid HTML 4.01! | Valid CSS! О проекте