Главная    Ex Libris    Книги    Журналы    Статьи    Серии    Каталог    Wanted    Загрузка    ХудЛит    Справка    Поиск по индексам    Поиск    Форум   
blank
Авторизация

       
blank
Поиск по указателям

blank
blank
blank
Красота
blank
Schwartz G.C., Srikrishnan K.V. — Handbook of Semiconductor Interconnection Technology
Schwartz G.C., Srikrishnan K.V. — Handbook of Semiconductor Interconnection Technology

Читать книгу
бесплатно

Скачать книгу с нашего сайта нельзя

Обсудите книгу на научном форуме



Нашли опечатку?
Выделите ее мышкой и нажмите Ctrl+Enter


Название: Handbook of Semiconductor Interconnection Technology

Авторы: Schwartz G.C., Srikrishnan K.V.

Аннотация:

This edition reflects the continued evolution of semiconductor technology, describing the equipment used in manufacturing for deposition and etching, such as electrochemical deposition equipment used for plating copper. It emphasizes the measurement of mechanical and thermal properties as well as the use of EELS, energy filtering TEM, and atomic force microscopy. Expert contributors explore recently reported developments in thin film liners and barriers, choices for low-dielectric insulators, address major issues in processing, and cover deposition and etching of metallic films with a focus on electroplated copper. The book also examines the reliability of thin metallic and insulating films and features expanded discussions on copper reliability. Publications and patents are extensively cited throughout the book.


Язык: en

Рубрика: Технология/

Статус предметного указателя: Неизвестно

ed2k: ed2k stats

Издание: 2nd

Год издания: 2006

Количество страниц: 506

Добавлена в каталог: 22.04.2007

Операции: Положить на полку | Скопировать ссылку для форума | Скопировать ID
blank
Предметный указатель
blank
Реклама
blank
blank
HR
@Mail.ru
       © Электронная библиотека попечительского совета мехмата МГУ, 2004-2017
Электронная библиотека мехмата МГУ | Valid HTML 4.01! | Valid CSS! О проекте