В книге рассматриваются процессы, лежащие в основе планарно технологии изготовления кремниевых приборов — диодов , транзисторов
и интегральных схем.
Подробно излагаются вопросы, связанные с важнейшими операциями планарного технологического процесса : подготовкой кремниевых
пластин, созданием маскирующих и пассивирующих слоев на пх поверхности, диффузией , фотолитографией и эпитаксие П. Рассмотрены
операции сборки пленарных приборов н методы контроля технологического процесса .
Книга рассчитана на инженеров, молодых специалистов и студепдов старших курсов, специализирующихся в области полупроводниковой
технологии.