В учебном пособии описаны основные' типы полупроводниковых приборов и интегральных схем, -принцип
действия, производство, измерения и испытания. Приведены сведения о материалах, применяемых в полупроводниковом производстве, контроле их качества и требованиях к ним.
Третье издание переработано и дополнено описанием новых технологических методов, используемых
при производстве полупроводниковых приборов. Более
полно рассмотрены прецизионная обработка полупроводниковых материалов, способы защиты поверхности
р — п-переходов нитридными и стеклянными пленками,
технологические приемы изготовления фотошаблонов,
корпусов и элементов интегральных схем.
Книга предназначена в качестве учебника для подготовки рабочих полупроводникового производства.