Влияние малых примесей водорода, кислорода и азота на свойства металлов и сплавов было обнаружено еще в прошлом веке.
Первые исследования системы «водород— железо» были выполнены Кельтье в 1864 г., а системы «водород—палла­ дий»— Грэмом в 1866 г.
В 1882 г. Ледебур предложил водородный способ опре­ деления кислорода в металлах, который может быть обращен и для целей определения водорода. Химический способ опре­ деления азота в металлах, не утративший своего значения и до настоящего времени, был предложен Буссинго в 1850 г. и развит Кьельдалем в 1883 г.
Более интенсивное развитие анализ газов в металлах получил в 20-х годах нашего столетия благодаря работам Обергоферера, а также Жордана и Экмана, в результате чего появился метод вакуум-плавления.
В 30-х годах советскими исследователями Н. II. Чижевским и Ю. А. Клячко были проведены фундаментальные исследова­ ния по поведению газов в стали и алюминии. Именно к этому времени и относится внедрение в практику научно- исследовательских институтов и некоторых заводов методов анализа газов в металлах. Уже первые работы в этой обла­ сти были тесно связаны с технологическими исследованиями и выбором оптимальных режимов получения и обработки ме­ таллов.