Рассмотрены основные принципы метода молекулярного наслаивания, основанного на реализации химических реакций между функциональными группами на поверхности твердого тела и подводимыми к ним реагентами. На примере синтеза оксидных моно- и полислоев кремния, фосфора, титана, хрома на поверхности силикагеля проиллюстрированы возможности указанного метода