Нашли опечатку? Выделите ее мышкой и нажмите Ctrl+Enter
Название: Физические основы полупроводниковой нанотехнологии
Автор: Белявский В.И.
Аннотация:
Кратко рассмотрены два основных способа получения полупроводниковых гетероструктур: метод молекулярно-лучевой эпитаксии и метод осаждения пленок из металлоорганических соединений. Изложены общие представления о физических явлениях, определяющих процесс роста гетероструктуры и качество гетерограниц