Das Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) hat im Jahr
1990 begonnen die Entwicklung der Mikrosystemtechnik in Deutschland zu
fördern. Das Programm Mikrosystemtechnik bildete eine systematische
Weiterentwicklung der beiden Vorläuferprogramme »Anwendungen der
Mikroelektronik« und »Mikroperipherie«, die von 1982 bis 1989 durchgeführt
wurden. Mit der Einführung des Programms Mikrosystemtechnik hat
das BMBF in diesem Programm erstmalig einen paradigmatischen Wandel
vollzogen. Dieser Paradigmawechsel bestand in einer Abkehr der Förderung
von einzelnen Technologien, hin zu der Unterstützung der Herausbildung
von systemischen Technologien. Dieser neue Akzent war von besonderer Bedeutung,
um verschiedene Elemente der elektronischen und mikroelektronischen
Technologien zusammenzuführen und zeitnah in neue Produkte umwandeln
zu können.