Главная    Ex Libris    Книги    Журналы    Статьи    Серии    Каталог    Wanted    Загрузка    ХудЛит    Справка    Поиск по индексам    Поиск    Форум   
blank
Авторизация

       
blank
Поиск по указателям

blank
blank
blank
Красота
blank
Броудай И., Мерей Дж. — Физические основы микротехнологии
Броудай И., Мерей Дж. — Физические основы микротехнологии



Обсудите книгу на научном форуме



Нашли опечатку?
Выделите ее мышкой и нажмите Ctrl+Enter


Название: Физические основы микротехнологии

Авторы: Броудай И., Мерей Дж.

Аннотация:

В книге американских специалистов изложены физические принципы основных технологических процессов современной (на 1985 год) микроэлектроники, включая субмикронную литографию, сухое травление, лазерный и электронно-лучевой отжиг. Рассмотрены перспективы совершенствования технологии и фундаментальные ограничения на дальнейшее развитие микроэлектроники.
Для специалистов в области электронной техники, а также студентов и аспирантов соответствующих специальностей вузов.


Язык: ru

Рубрика: Разное/

Статус предметного указателя: Неизвестно

ed2k: ed2k stats

Год издания: 1985

Количество страниц: 496

Добавлена в каталог: 17.06.2017

Операции: Положить на полку | Скопировать ссылку для форума | Скопировать ID
blank
Предметный указатель
blank
Реклама
blank
blank
HR
@Mail.ru
       © Электронная библиотека попечительского совета мехмата МГУ, 2004-2020
Электронная библиотека мехмата МГУ | Valid HTML 4.01! | Valid CSS! О проекте