В учебном пособии излагаются современные представления о влиянии поверхности на физические явления в полупроводниках. Проанализированы причины образования поверхностных электронных состояний и приповерхностной области пространственного заряда (ОПЗ). Рассмотрены электрические, фотоэлектрические и оптические явления с учетом поверхности и ОПЗ, поверхностное рассеяние носителей заряда, статистика поверхностной рекомбинации, квантовые размерные эффекты.
Описаны экспериментальные методы определения поверхностного потенциала, параметров поверхностных состояний, скорости поверхностной рекомбинации, а также методы исследования химического состава, кристаллической структуры поверхностных слоев полупроводников и параметров поверхностных покрытий.
Для студентов физических и радиофизических специальностей вузов, а также для специалистов, работающих в области физики полупроводников и полупроводниковой электроники.