Аброян И.А., Андронов А.Н., Титов А.И. — Физические основы электронной и ионной технологии
Обсудите книгу на
Нашли опечатку? Выделите ее мышкой и нажмите Ctrl+Enter
Название: Физические основы электронной и ионной технологии
Авторы: Аброян И.А., Андронов А.Н., Титов А.И.
Аннотация:
Основные явления при взаимодействии ускоренных электронов и ионов с твердым телом.
Движение ускоренных электронов в веществе.
Образование радиационных дефектов при облучении ионами.
Изменение электрических свойств твердых тел в результате ионной бомбардировки. Ионная имплантация в полупроводники.
Модификация свойств твердых твердых тел ионной бомбардировкой.
Распыление твердых тел ионами.
Движение ускоренных электронов в веществе.
Основы электронно-лучевой обработки материалов.
|
|
О проекте