Главная    Ex Libris    Книги    Журналы    Статьи    Серии    Каталог    Wanted    Загрузка    ХудЛит    Справка    Поиск по индексам    Поиск    Форум   
blank
Авторизация

       
blank
Поиск по указателям

blank
blank
blank
Красота
blank
Michael Quirk, Julian Serda — Semiconductor Manufacturing Technology
Michael Quirk, Julian Serda — Semiconductor Manufacturing Technology



Обсудите книгу на научном форуме



Нашли опечатку?
Выделите ее мышкой и нажмите Ctrl+Enter


Название: Semiconductor Manufacturing Technology

Авторы: Michael Quirk, Julian Serda

Аннотация:

In this book, Quirk and Serda introduce the terminology, concepts, processes, products, and equipment commonly used in the manufacture of ultra large scale integrated (ULSI) semiconductors. The book provides helpful, up-to-date technical information about semiconductor manufacturing and strikes an effective balance between the process and equipment technology found in wafer fabrications. Topics include copper interconnect; dual damascene additive process for metallization; deep UV sub-micron photolithography (.18 micron and below); low-k dielectric processing; chemical mechanical planarization; a comprehensive model of manufacturing process; chemical-mechanical polish (CMP); and maintenance and troubleshooting. For practicing semiconductor manufacturing technicians or those interested in semiconductor manufacturing technology and processes.



Язык: en

Статус предметного указателя: Неизвестно

ed2k: ed2k stats

Издание: United States ed

Год издания: 2000

Количество страниц: 510

Добавлена в каталог: 21.12.2014

Операции: Положить на полку | Скопировать ссылку для форума | Скопировать ID
blank
Предметный указатель
blank
Реклама
blank
blank
HR
@Mail.ru
       © Электронная библиотека попечительского совета мехмата МГУ, 2004-2024
Электронная библиотека мехмата МГУ | Valid HTML 4.01! | Valid CSS! О проекте