Даются основные сведения о процессах, связанных с энергообменом и массообменом между ионизированными потоками атомарных частиц и поверхностями конструкционных материалов. Анализируются особенности процессов взаимодействия ионных потоков с поверхностями, влияющих на энерго- и массообмен. Рассматривается влияние условий облучения поверхности: наличия адсорбента, угол падения ионов на поверхность, энергия ионов, их масса. Приводятся описания наиболее распространенных методик получения коэффициентов аккомодации энергии и коэффициентов распыления. Материал необходим при выполнении студентами курсовых и дипломных работ, связанных с разработкой вакуумных установок, различных устройств, предназначенных для получения ионных и плазменных потоков.