В монографии систематизированы физические методы исследования структуры, фазового состава, электрофизических свойств материалов и многослойных тонкопленочных структур, используемых в микроэлектронике для создания СБИС, а также функционального контроля микросхем. Представлены результаты по применению различных методов контроля на различных этапах разработки изделий электронной техники и показано их место в технологическй цепочке создания СБИС.
Предназначена для научных и инженерно-технических работников, занимающихся разработкой технологии создания СБИС с субмикронными размерами, а также для преподавателей, студентов и аспирантов вузов физических, физико-химических и технологических специальностей.