Рассмотрены основные составляющие фотолитографического ме¬тода: светочувствительные материалы, собственно технология фото¬литографии, применяемое современное оборудование.
Книга рассчитана на широкий круг читателей. Технологи, знако¬мые с фотолитографией, найдут в ней практические указания и новые сведения. Инженеров, работающих в других областях, могут заинте¬ресовать современные возможности и перспективы развития фотолито¬графии.