Главная    Ex Libris    Книги    Журналы    Статьи    Серии    Каталог    Wanted    Загрузка    ХудЛит    Справка    Поиск по индексам    Поиск    Форум   
blank
Авторизация

       
blank
Поиск по указателям

blank
blank
blank
Красота
blank
Fukuda T., Menz W. — Micro Mechanical Systems: Principles and Technology
Fukuda T., Menz W. — Micro Mechanical Systems: Principles and Technology

Читать книгу
бесплатно

Скачать книгу с нашего сайта нельзя

Обсудите книгу на научном форуме



Нашли опечатку?
Выделите ее мышкой и нажмите Ctrl+Enter


Название: Micro Mechanical Systems: Principles and Technology

Авторы: Fukuda T., Menz W.

Аннотация:

In ten sections this book describes the principles and technology of Micro Mechanical Systems. Section one is a general introduction to the historical background and the parallels to microelectronics, reviewing the motivation for microsystems, and discussing microphysics and design and the evolution from microcomponents to microsystems. Section two covers the areas of photolithographic microfabrication, basic concepts of planar processing, materials, and processes. Section three looks at micromachining by machine tools, its history, basic principles and preparation methods. Section four discusses tribological aspects of microsystems. Section five covers fabrication, performance and examples of silicon microsensors. Section six looks at electric and magnetic micro-actuators for micro-robots. Section seven covers energy source and power supply methods. Section eight covers controlling principles and methods of micro mechanical systems and section nine gives examples of microsystems and micromachines. The final section discusses the future problems and outlook of micro mechanical systems.


Язык: en

Рубрика: Технология/

Статус предметного указателя: Неизвестно

ed2k: ed2k stats

Год издания: 1998

Количество страниц: 268

Добавлена в каталог: 20.04.2014

Операции: Положить на полку | Скопировать ссылку для форума | Скопировать ID
blank
Предметный указатель
blank
Реклама
blank
blank
HR
@Mail.ru
       © Электронная библиотека попечительского совета мехмата МГУ, 2004-2017
Электронная библиотека мехмата МГУ | Valid HTML 4.01! | Valid CSS! О проекте