Рабочая программа дисциплины разработана в соответствии с требованиями государственных образовательных стандартов высшего профессионального образования по направлению подготовки дипломированного специалиста 654300 (специальность 200800 - ''Проектирование и технология радиоэлектронных средств'') и направлению подготовки бакалавра 551100 - ''Проектирование и технология электронных средств''. Рассматриваются основные физико-химические процессы технологии производства электронных средств, влияние различных физико-химических факторов на параметры технологических процессов, принципы термодинамического и кинетического описания и анализа технологических процессов, а также физико-химические основы поверхностных процессов, процессов зарождения и роста новой фазы, литографии, электрохимических процессов. Приведена рабочая программа дисциплины, тематика практических и лабораторных занятий, методические указания к изучению дисциплины, вариант тестовых заданий.