Впервые систематизированы исследования, относящиеся к применению ионно-рассеивательной спектроскопии и спектроскопии атомов отдачи для анализа объемных и поверхностных свойств твердых тел. Рассматриваются физические основы этих методов. Описана типичная аппаратура. Приведены результаты исследования состава, атомной структуры, морфологии и динамических свойств твердых тел.
Для научных работников и инженеров в области физической электроники, радиационной физики твердого тела, микроэлектроники, физики плазмы, аналитического приборостроения, а также для аспирантов и студентов соответствующих специальностей.