В книге, написанной крупнейшими специалистами по радиационной физике твердого тела, рассмотрены современные теории взаимодействия легких и тяжелых ионов с моно- и поликристаллическими твердыми телами, методы моделирования радиационных эффектов в твердых телах с помощью ЭВМ, систематизирован обширный материал, полученный пр распылении твердых тел ионной бомбардировкой. Книга является итогом самых последних исследований в данной области, многие результаты публиковались ранее лишь в виде отчетов.
Для научных работников и инженеров, работающих в области физики твердого тела, микроэлектроники, плазменной технологии, плазменных энергетических установок, также для студентов и аспирантов вузов, соответствующих специальностей.