Современная физика поверхности связана с адсорбцией, катализом, ростом тонких пленок и т.д. в сверхвысоком вакууме. Достижения в вакуумной технологии дают возможность проводить эксперименты с атомарно - чистой кристаллической поверхностью. Обнаружено, что многие адсорбаты, толщиной от долей до нескольких атомных слоев, образуют упорядоченные сверхтонкие слои со специфической структурой, составом и свойствами,отличными от таковых в массивных материалах. Поверхностные фазы проявляются во многих поверхностных явлениях. Объясняется роль формирования поверхностных фаз в процессах десорбции и поверхностной диффузии.