Совершенствование технологий обработки поверхности конструкционных материалов и создание новых микросхем немыслимы без контроля компонентного и послойного состава образцов. Измерение энергетических распределений электронов и ионов, рассеянных исследуемым материалом, дает возможность ответить на вопросы о химическом составе и профиле концентраций в приповерхностных слоях