Главная    Ex Libris    Книги    Журналы    Статьи    Серии    Каталог    Wanted    Загрузка    ХудЛит    Справка    Поиск по индексам    Поиск    Форум   
blank
Авторизация

       
blank
Поиск по указателям

blank
blank
blank
Красота
blank
Райзер Ю.П. — Высокочастотный емкостной разряд и его приложения
Райзер Ю.П. — Высокочастотный емкостной разряд и его приложения



Обсудите книгу на научном форуме



Нашли опечатку?
Выделите ее мышкой и нажмите Ctrl+Enter


Название: Высокочастотный емкостной разряд и его приложения

Автор: Райзер Ю.П.

Аннотация:

Рассматриваются физический процесс высокочастотного емкостного (ВЧЕ) разряда, механизм протекания ВЧ-тока, современные приложения ВЧЕ-разряда для возбуждения СО2-лазеров и ионной обработки материалов, используемых в микроэлектронике. Попутно обсуждается вопрос о природе тока смещения и месте этого фундаментального понятия в реальном механизме протекания переменного тока через цепь, содержащую изоляторы.


Язык: ru

Рубрика: Физика/

Тип: Статья

Статус предметного указателя: Неизвестно

ed2k: ed2k stats

Год издания: 1999

Количество страниц: 7

Добавлена в каталог: 28.03.2013

Операции: Положить на полку | Скопировать ссылку для форума | Скопировать ID
blank
Предметный указатель
blank
Реклама
blank
blank
HR
@Mail.ru
       © Электронная библиотека попечительского совета мехмата МГУ, 2004-2024
Электронная библиотека мехмата МГУ | Valid HTML 4.01! | Valid CSS! О проекте