Нашли опечатку? Выделите ее мышкой и нажмите Ctrl+Enter
Название: Высокочастотный емкостной разряд и его приложения
Автор: Райзер Ю.П.
Аннотация:
Рассматриваются физический процесс высокочастотного емкостного (ВЧЕ) разряда, механизм протекания ВЧ-тока, современные приложения ВЧЕ-разряда для возбуждения СО2-лазеров и ионной обработки материалов, используемых в микроэлектронике. Попутно обсуждается вопрос о природе тока смещения и месте этого фундаментального понятия в реальном механизме протекания переменного тока через цепь, содержащую изоляторы.