Филатов Д.О., Круглов А.В., Гущина Ю.Ю. — Исследование топографии поверхностных твердых тел методом атомно-силовой микроскопии в неконтактном режиме. Описание лабораторной работы
Нашли опечатку? Выделите ее мышкой и нажмите Ctrl+Enter
Название: Исследование топографии поверхностных твердых тел методом атомно-силовой микроскопии в неконтактном режиме. Описание лабораторной работы
Авторы: Филатов Д.О., Круглов А.В., Гущина Ю.Ю.
Аннотация:
В данной лабораторной работе рассматриваются физические принципы работы сканирующего атомного силового микроскопа в неконтактном режиме и методика исследования топографии поверхности твердых тел в нанометровом масштабе методом неконтактной атомно-силовой микроскопии. Предназначено для студентов старших курсов и магистратуры физического факультета, обучающихся по специальностям "Микроэлектроника и полупроводниковые приборы" и "Физика полупроводников. Микроэлектроника", направление специализации - "Физика твердотельных наноструктур". Пособие подготовлено в рамках работ по проекту "Научно-образовательный центр Физика твердотельных наноструктур Нижегородского государственного университета им. Н.И.Лобачевского" Российско-американской программы "Фундаментальные исследования и высшее образование".