Рассматривается влияние низкоэнергетического ионного облучения на процесс формирования тонких пленок на поверхности твердого тела. Образование точечных дефектов является главным следствием ионного воздействия. Механизм их образования (упругий, неупругий) определяет основные закономерности процесса конденсации в условиях ионного облучения. Обсуждаются структурные последствия эффекта ионной стимуляции.