В книге рассмотрены вопросы теории диффузии, связанные с взаимодействием точечных дефектов и коррелированностью их блужданий. Представлены результаты применения различных подходов к решению диффузионных задач, отражены достижения в теории диффузии примесей в разбавленных твердых растворах, в кристаллах с дефектами и др.
Книга предназначена специалистам по теории диффузии в твердых телах, а также инженерам, работающим в области исследования полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.