Учебное пособие составлено на основе курса лекций "Нанотехнология", читаемого студентам специальности "Микроэлектроника" дневной формы обучени. Во второй части рассмотрены основные известные и нетрадиционные методы изготовления наноразмерных структур и функциональных слоев на их основе.