В учебном пособии описываются условия и излагаются основные закономерности развития наиболее значительных изменений рельефа поверхности твердых тел при ионном и плазменном облучении. Рассмотрены различные виды рельефа, которые формируются при подобном воздействии. Приводятся модели явлений. При составлении пособия привлечена информация из многих тематических журналов, сборников, обзоров и монографий, которые практически недоступны студентам. Пособие будет полезно студентам, изучающим физику, технику и технологию термоядерных реакторов, радиационную физику поверхности, методы ионной и плазменной технологии.